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射频辉光放电与ICP联用光谱激发源研究

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射频辉光放电与ICP联用光谱激发源研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
第1章 绪论第8-16 页
  · 研究背景第8-9 页
  · 辉光放电光谱仪等离子体激发源第9-15 页
    · 辉光放电基本原理第9-10 页
    · 辉光放电溅射激发原理第10-11 页
    · 辉光放电发射光谱仪(GD-OES)激发源的种类第11-15 页
  · 本论文研究的主要内容第15-16 页
第2章 增强型辉光放电激发源综述第16-23 页
  · 二次放电增强辉光放电第16-17 页
  · 磁场增强辉光放电第17-18 页
  · 微波增强辉光放电第18-19 页
  · 气体喷射增强辉光放电第19-20 页
  · 自偏压偏置电流增强RF辉光放电第20-21 页
  · 脉冲增强辉光放电第21-22 页
  · 射频增强辉光放电第22-23 页
第3章 RF GD-ICP联用增强型激发源的实验研究第23-48 页
  · RF GD-ICP联用增强型激发源实验装置第23-28 页
    · 射频驱动阻抗匹配网络第23-24 页
    · GD-ICP联用增强型激发源示意图第24-25 页
    · GD-ICP联用增强型激发源结构图第25-26 页
    · 光检测系统第26-27 页
    · MetalLab光谱分析应用软件第27-28 页
  · RF GD-ICP联用增强型激发源实验方法第28-31 页
    · 描迹法(Profile)第28-30 页
    · 建立样品标准工作曲线法(Calibration)第30-31 页
  · RF GD-ICP联用增强型激发源实验结果、讨论及分析第31-48 页
    · 探索性实验第31-33 页
    · 描迹法(Profile)考察增强的实验结果及分析第33-40 页
    · 建立样品校准工作曲线法(Calibration)考察增强的实验结果及分析第40-48 页
第4章 结论与展望第48-51 页
  · 结论第48-49 页
  · 有待进一步研究的问题第49-51 页
参考文献第51-54 页
致谢第54-55 页
研究生期间发表的论文第55页

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