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超导太赫兹直接检测器的制备研究

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超导太赫兹直接检测器的制备研究
论文目录
 
摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-13页
  1.1 引言第8-9页
  1.2 太赫兹检测第9-10页
    1.2.1 直接检测器第9-10页
    1.2.2 外差检测器第10页
  1.3 超导隧道结直接检测器第10-11页
    1.3.1 超导理论第10-11页
    1.3.2 超导直接检测原理第11页
  1.4 论文结构和主要内容第11-13页
第二章 太赫兹直接检测器的设计第13-19页
  2.1 直接检测器概念第13-15页
    2.1.1 光子检测第13-14页
    2.1.2 视频检测第14-15页
  2.2 直接检测器设计第15-18页
    2.2.1 平面对数周期天线第15-17页
    2.2.2 超导微带线第17页
    2.2.3 超导隧道结结阵第17-18页
    2.2.4 超导直接检测器设计第18页
  2.3 本章小结第18-19页
第三章 太赫兹直接检测器的制备工艺第19-40页
  3.1 制备工艺简介第19-30页
    3.1.1 光刻第19-24页
    3.1.2 磁控溅射第24-27页
    3.1.3 等离子体增强化学气相沉积第27-29页
    3.1.4 反应离子刻蚀RIE第29-30页
  3.2 关键工艺改进第30-31页
    3.2.1 stepper光刻第30页
    3.2.2 斜坡底电极刻蚀第30-31页
  3.3 具体工艺过程第31-39页
    3.3.1 磁控溅射Nb/Al- AlOx/Nb三层结构第32-33页
    3.3.2 制备天线和测试引线第33-36页
    3.3.3 制备隧道结结阵第36-38页
    3.3.4 制备上引线第38-39页
    3.3.5 划片与测试第39页
  3.4 本章小结第39-40页
第四章 测试结果与分析第40-44页
  4.1 测量原理第40-41页
  4.2 结果与分析第41-42页
  4.3 本章小结第42-44页
第五章 论文工作总结与展望第44-45页
致谢第45-46页
参考文献第46-50页
硕士期间发表的学术论文以及参加的学术会议第50-51页

本篇论文共51页,点击这进入下载页面
 
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