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超导量子器件的制备与相关工艺研究

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超导量子器件的制备与相关工艺研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-12页
1 绪论第12-18页
  1.1 研究背景第12-15页
    1.1.1 量子比特第12页
    1.1.2 超导量子比特第12-15页
  1.2 信息的读取与超导放大器第15-16页
  1.3 小结第16-18页
2 超导共面波导第18-24页
  2.1 共面波导的特征阻抗和有效介电常数第19-20页
  2.2 电磁波在共面波导中的传播与反射第20-24页
3 一种简单的空气桥制作法第24-30页
  3.1 概述第24-25页
  3.2 制作流程第25-27页
  3.3 测量结果与讨论第27-30页
4 阻抗变换参量放大器第30-40页
  4.1 参量放大器的原理第30-37页
    4.1.1 约瑟夫森结第31-34页
    4.1.2 SQUID第34-35页
    4.1.3 SQUID对信号的放大第35-37页
  4.2 阻抗变换器第37-40页
5 参量放大器的制作第40-56页
  5.1 阻抗变换器与电容的制作第40-47页
    5.1.1 剥离工艺制作第一层第40-42页
    5.1.2 刻蚀工艺制作第二层第42-46页
    5.1.3 剥离工艺制作第三层第46-47页
  5.2 第四层:SQUID的制作第47-49页
  5.3 封装第49-50页
  5.4 参量放大器的测量第50-56页
6 总结与展望第56-58页
致谢第58-60页
参考文献第60-65页
简历与科研成果第65-66页

本篇论文共66页,点击这进入下载页面
 
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