硅基多模干涉耦合器的设计与应用

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硅基多模干涉耦合器的设计与应用

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硅基多模干涉耦合器的设计与应用

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-12页
第一章绪论	第12-26页
1.1 硅基光电子学的发展现状	第12-15页
1.2 硅基光电子学与片上互连技术发展	第15-16页
1.3 硅基耦合器的分类	第16-20页
1.3.1 硅基定向耦合器	第17-18页
1.3.2 Y分叉耦合器	第18-19页
1.3.3 多模干涉耦合器	第19-20页
1.4 硅基MMI的研究进展	第20-24页
1.5 论文的创新点和内容安排	第24-26页
第二章 MMI的理论基础	第26-38页
2.1 自映像效应	第26-29页
2.1.1 波导传输理论分析	第26-28页
2.1.2 导模传输分析	第28-29页
2.2 多模干涉耦合器的分类	第29-34页
2.2.1 一般干涉型MMI	第30-32页
2.2.2 配对干涉型MMI	第32-33页
2.2.3 对称干涉型MMI	第33-34页
2.3 硅基MMI中的相位关系分析	第34-36页
2.3.1 1×2型MMI中的相位关系	第34-35页
2.3.2 N×N型MMI中的相位关系	第35-36页
2.4 MMI的仿真求解方法	第36-37页
2.5 本章小结	第37-38页
第三章硅基MMI的仿真设计与加工工艺	第38-56页
3.1 硅基波导中的模场分析	第38-39页
3.2 硅基MMI的性能指标	第39-42页
3.3 1×2 MMI的仿真优化	第42-47页
3.4 2×2 MMI的仿真优化	第47-52页
3.5 硅基光电子的加工工艺	第52-54页
3.6 本章小结	第54-56页
第四章硅基MMI的实验设计与测试分析	第56-68页
4.1 硅基MMI的版图设计	第56-59页
4.2 MMI测试系统搭建与实验设计	第59-67页
4.2.1 无源测试系统	第59-60页
4.2.2 1×2 MMI实验测试分析	第60-64页
4.2.3 2×2MMI的测试分析	第64-67页
4.3 本章小结	第67-68页
第五章基于MMI的硅基热光开光的测试与分析	第68-74页
5.1 热光开光基本原理	第68-69页
5.2 实验设计和测试系统搭建	第69页
5.3 测试分析	第69-72页
5.4 本章小结	第72-74页
第六章总结与展望	第74-76页
6.1 总结	第74-75页
6.2 展望	第75-76页
参考文献	第76-84页
攻读硕士期间学术成果	第84-86页
致谢	第86-87页

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