论文目录 | |
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 仿生RGB光伏器件的研究背景、现状以及意义 | 第12-16页 |
| 1.1.1 多色传感器的发展以及现状 | 第12-13页 |
| 1.1.2 人眼中视网膜的色彩识别视及其启发 | 第13-15页 |
| 1.1.3 在光电传感器中引入硅基径向结 | 第15-16页 |
| 1.2 硅纳米线的技术发展简介 | 第16-19页 |
| 1.2.1 “自上而下”的纳米线制备—刻蚀方法 | 第16-18页 |
| 1.2.2 “自下而上”的纳米线制备—生长方法 | 第18-19页 |
| 1.3 硅基光伏器件及其应用 | 第19-25页 |
| 1.3.1 硅基薄膜技术简介 | 第19-20页 |
| 1.3.2 非晶硅太阳能电池 | 第20-24页 |
| 1.3.3 硅基光电传感器 | 第24-25页 |
| 1.4 本论文的主要工作以及结构安排 | 第25-28页 |
| 参考文献 | 第28-31页 |
| 第二章 硅基纳米线径向结的生长与调控 | 第31-46页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 硅纳米线的生长原理和制备简介 | 第31-35页 |
| 2.2.1 硅纳米线VLS生长原理 | 第31-32页 |
| 2.2.2 等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)系统 | 第32-34页 |
| 2.2.3 纳米线制备介绍 | 第34-35页 |
| 2.3 硅基纳米线生长调控与形貌表征 | 第35-43页 |
| 2.3.1 氢处理对于纳米线阵列形貌的影响 | 第35-37页 |
| 2.3.2 锡的厚度对纳米线阵列形貌的影响 | 第37-38页 |
| 2.3.3 生长温度对纳米线阵列形貌的影响 | 第38-39页 |
| 2.3.4 生长时间对纳米线阵列形貌的影响 | 第39-43页 |
| 2.3.5 掺杂特性对纳米线阵列形貌的影响 | 第43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第三章 基于硅基径向结阵列太阳能电池的制备和表征 | 第46-61页 |
| 3.1 引言 | 第46页 |
| 3.2 非晶硅径向结阵列电池制备及其表征 | 第46-50页 |
| 3.2.1 硅基径向结阵列电池制备工艺 | 第46-48页 |
| 3.2.2 硅基径向结阵列电池性能表征 | 第48-50页 |
| 3.3 非晶硅径向结阵列电池优化 | 第50-58页 |
| 3.3.1 吸收层厚度对电池特性的影响 | 第50-52页 |
| 3.3.2 不同掺杂浓度对电池性能影响 | 第52-54页 |
| 3.3.3 纳米线阵列密度对电池性能影响 | 第54-57页 |
| 3.3.4 退火对径向结电池性能的影响 | 第57-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-61页 |
| 第四章 一种新型非晶硅叠层光伏器件的设想 | 第61-73页 |
| 4.1 引言 | 第61页 |
| 4.2 一种新型叠层多色光伏传感器的设想 | 第61-65页 |
| 4.2.1 非晶硅径向结太阳能电池的光谱吸收模式探索 | 第61-64页 |
| 4.2.2 一种新型非晶硅叠层多色光伏器件的设想 | 第64-65页 |
| 4.3 非晶硅叠层径向结阵列模拟 | 第65-70页 |
| 4.3.1 建立叠层径向结模型 | 第65-66页 |
| 4.3.2 调控叠层径向结内外层厚度比例的模拟结果 | 第66-68页 |
| 4.3.3 模拟结果探索叠层径向结吸收模式 | 第68-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 第五章 基于硅基叠层径向结制备具有仿生三原色分辨性的光电探测器 | 第73-90页 |
| 5.1 引言 | 第73-74页 |
| 5.2 非晶硅径向结叠层纳米线多色光伏传感器的制备 | 第74-78页 |
| 5.3 光电探测器电学性能测试以及光学表征 | 第78-84页 |
| 5.3.1 不同内外层厚度比例纳米线阵列的形貌表征 | 第78-80页 |
| 5.3.2 不同内外层厚度比例纳米线阵列的光电表征 | 第80-82页 |
| 5.3.3 叠层径向结阵列与平面结构的对比 | 第82-83页 |
| 5.3.4 叠层径向结阵列响应速度 | 第83-84页 |
| 5.4 叠层径向结阵列多色探测器的应用 | 第84-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-90页 |
| 第六章 总结与展望 | 第90-92页 |
| 6.1 研究课题总结 | 第90-91页 |
| 6.2 研究课题展望 | 第91-92页 |
| 攻读硕士期间取得成果清单 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-96页 |
