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TiO2薄膜的制备及其紫外光导性能研究
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TiO2薄膜的制备及其紫外光导性能研究
论文目录
 
摘要第1-7 页
ABSTRACT第7-13 页
第一章 绪论第13-16 页
　　· 课题背景及意义第13-15 页
　　· 课题研究内容第15-16 页
第二章 TiO_2薄膜的结构与应用第16-27 页
　　· TiO_2薄膜的晶体结构第16-17 页
　　· TiO_2薄膜的应用第17-20 页
　　　　· 电子领域的应用第18 页
　　　　· 光学领域的运用第18-20 页
　　　　· 其他用途第20 页
　　· TiO_2薄膜的一般制备方法第20-25 页
　　　　· 物理气相沉积(PVD)第20-22 页
　　　　· 化学气相沉积(CVD)第22-23 页
　　　　· 液相沉积法第23-24 页
　　　　· 溶胶-凝胶法第24-25 页
　　　　· 热分解法第25 页
　　　　· 喷雾热解法第25 页
　　· TiO_2薄膜产生光电流的机理及其应用前景第25-27 页
第三章 TiO_2薄膜的制备与表征第27-44 页
　　· TiO_2薄膜的制备及磁控溅射原理第27-29 页
　　　　· 磁控溅射原理第27-28 页
　　　　· 实验设备主要技术参数第28 页
　　　　· TiO_2薄膜的制备第28-29 页
　　· TiO_2薄膜的表征第29-31 页
　　　　· 晶体结构第29-30 页
　　　　· 形貌分析第30 页
　　　　· 光学性质第30-31 页
　　· 衬底温度对TiO_2薄膜性能的影响第31-34 页
　　　　· 衬底温度对薄膜结构的影响第31-32 页
　　　　· 衬底温度对薄膜表面形貌的影响第32-33 页
　　　　· 衬底温度对薄膜透过率的影响第33-34 页
　　· 氧分压对TiO_2薄膜性能的影响第34-37 页
　　· 退火温度对TiO_2薄膜性能的影响第37-40 页
　　· 溅射功率对TiO_2薄膜性能的影响第40-43 页
　　· 小结第43-44 页
第四章 TiO_2薄膜紫外探测器的制备及其光电性能第44-53 页
　　· 引言第44-45 页
　　· TiO_2薄膜紫外探测器的制备与表征第45-46 页
　　· TiO_2薄膜的紫外探测器的光电性质第46-48 页
　　· ZnO/TiO_2薄膜紫外探测器的制备第48-49 页
　　· ZnO/TiO_2薄膜的紫外探测器的光电性质第49-52 页
　　· 小结第52-53 页
第五章 结论第53-55 页
参考文献第55-58 页
致谢第58-59 页
研究成果及发表的学术论文第59 页
作者简介第59-60 页
导师简介第60-61 页
硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第61-62页

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