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热丝化学气相沉积制备SiCN薄膜的研究
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热丝化学气相沉积制备SiCN薄膜的研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
Abstract第4-8 页
引言第8-10 页
第一章 绪论第10-22 页
　　· SiCN薄膜的研究背景及现状第10-14 页
　　· SiCN薄膜的特性第14-16 页
　　　　· SiCN薄膜的机械性质第14-15 页
　　　　· SiCN薄膜的光学性质第15 页
　　　　· SiCN薄膜的场发射性质第15-16 页
　　· SiCN薄膜的制备方法第16-20 页
　　　　· 溅射第16 页
　　　　· 脉冲激光沉积(PLD)第16-17 页
　　　　· 等离子体化学气相沉积(PCVD)第17-19 页
　　　　· 热丝化学气相沉积(RFCVD)第19-20 页
　　· 本论文研究的内容第20-22 页
第二章 SiCN薄膜的制备及表征第22-32 页
　　· SiCN薄膜的制备第22-28 页
　　　　· 实验装置第22-23 页
　　　　· 样品的制备第23-25 页
　　　　· HFCVD沉积SiCN薄膜的影响因素第25-28 页
　　· 样品的测试表征方法第28-32 页
　　　　· X射线衍射(XRD)测试第28 页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)分析第28-29 页
　　　　· 傅立叶红外吸收光谱(FT-IR)分析第29 页
　　　　· 拉曼光谱(Raman)分析第29 页
　　　　· 扫描电子显微镜(SEM)测试第29-30 页
　　　　· 原子力电子显微镜(AFM)测试第30-32 页
第三章 实验结果的分析和讨论第32-52 页
　　· 影响SiCN薄膜生长工艺参数的研究第32-42 页
　　　　· 衬底温度的影响第32-35 页
　　　　· 氮气(N_2)流量的影响第35-37 页
　　　　· 甲烷(CH_4)流量的影响第37-38 页
　　　　· 反应室压强的影响第38-40 页
　　　　· 氢气(H_2)流量对薄膜中氮含量的影响第40-42 页
　　· 优化工艺条件下生长SiCN薄膜的结果分析第42-50 页
　　　　· 晶体结构第43-45 页
　　　　· 表面形貌第45-47 页
　　　　· 化学组成第47-50 页
　　· 本章小结第50-52 页
第四章 结论第52-54 页
　　· 总结第52-53 页
　　· 存在的问题及以后的研究方向第53-54 页
参考文献第54-58 页
攻读硕士学位期间取得的学术成果第58-60 页
致谢第60 页

本篇论文共60页，点击这进入下载页面。
 
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