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白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究
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白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究
论文目录
摘要
第1-6 页
ABSTRACT
第6-11 页
致谢
第11-12 页
第一章 绪论
第12-21 页
· 本课题的研究背景
第12-13 页
· 表面三维形貌测量方法
第13-17 页
· 表面三维形貌特征的评价方法
第17-19 页
· 表面三维形貌测量仪的国内外发展状况及趋势
第19-20 页
· 课题来源与主要研究内容
第20-21 页
第二章 白光扫描干涉测量三维形貌原理
第21-33 页
· 白光扫描干涉测量原理
第21-26 页
· 白光光源的种类及其相干长度
第26-27 页
· 白光干涉分析方法
第27-29 页
· 光源相干性的分析
第29-32 页
· 本章小结
第32-33 页
第三章 白光扫描干涉测量系统设计
第33-44 页
· 测量系统概述
第33-34 页
· 光学系统
第34-35 页
· 微驱动装置及其控制系统
第35-36 页
· 调焦系统
第36-37 页
· 图像采集及数据处理系统
第37 页
· 白光扫描干涉的图像处理算法
第37-41 页
· 频域法误差分析
第41-43 页
· 本章小结
第43-44 页
第四章 试验仿真与分析
第44-57 页
· 仿真方法
第44-49 页
· PZT步进间隔的标定
第49-52 页
· 计算PZT步进间隔
第52-53 页
· CCD的标定
第53-54 页
· 白光中心波长的标定
第54-55 页
· 三维表面的仿真计算
第55-56 页
· 本章小结
第56-57 页
结论
第57-58 页
参考文献
第58-61 页
攻读硕士学位期间发表的论文
第61页
本篇论文共
61
页,
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