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白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究

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白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-11 页
致谢第11-12 页
第一章 绪论第12-21 页
  · 本课题的研究背景第12-13 页
  · 表面三维形貌测量方法第13-17 页
  · 表面三维形貌特征的评价方法第17-19 页
  · 表面三维形貌测量仪的国内外发展状况及趋势第19-20 页
  · 课题来源与主要研究内容第20-21 页
第二章 白光扫描干涉测量三维形貌原理第21-33 页
  · 白光扫描干涉测量原理第21-26 页
  · 白光光源的种类及其相干长度第26-27 页
  · 白光干涉分析方法第27-29 页
  · 光源相干性的分析第29-32 页
  · 本章小结第32-33 页
第三章 白光扫描干涉测量系统设计第33-44 页
  · 测量系统概述第33-34 页
  · 光学系统第34-35 页
  · 微驱动装置及其控制系统第35-36 页
  · 调焦系统第36-37 页
  · 图像采集及数据处理系统第37 页
  · 白光扫描干涉的图像处理算法第37-41 页
  · 频域法误差分析第41-43 页
  · 本章小结第43-44 页
第四章 试验仿真与分析第44-57 页
  · 仿真方法第44-49 页
  · PZT步进间隔的标定第49-52 页
  · 计算PZT步进间隔第52-53 页
  · CCD的标定第53-54 页
  · 白光中心波长的标定第54-55 页
  · 三维表面的仿真计算第55-56 页
  · 本章小结第56-57 页
结论第57-58 页
参考文献第58-61 页
攻读硕士学位期间发表的论文第61页

本篇论文共61页,点击这进入下载页面
 
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