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快速热处理对直拉单晶硅缺陷的调控
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快速热处理对直拉单晶硅缺陷的调控
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-9页
第一章 前言
第9-11页
· 研究的背景与意义
第9-10页
· 本研究的目的
第10页
· 本研究的结构安排
第10-11页
第二章 文献综述
第11-29页
· 引言
第11页
· 直拉单晶硅中的氧
第11-16页
· 硅中氧的引入
第12-13页
· 氧的基本性质
第13-15页
· 硅中氧的测量
第15-16页
· 硅中的氧沉淀
第16-22页
· 氧沉淀的热力学与动力学
第17-18页
· 氧沉淀的形貌
第18-19页
· 氧沉淀诱生的缺陷
第19-21页
· 氧沉淀形成的影响因素
第21-22页
· 直拉单晶硅中的内吸杂
第22-24页
· 硅中的氮
第24-25页
· 快速热处理(RTP)
第25-27页
· 小结
第27-29页
第三章 实验设备和实验样品
第29-37页
· 实验样品
第29-30页
· 轻掺CZ、NCZ和FZ硅样品
第29页
· 样品制备和预处理
第29-30页
· 热处理设备和样品制备
第30-32页
· 普通热处理炉
第30页
· 快速热处理设备(RTP)
第30-32页
· 分析测试设备与方法
第32-37页
· 间隙氧浓度测量与傅里叶红外光谱仪(FTIR)
第32-33页
· 四探针测试仪
第33页
· 硅中缺陷的择优腐蚀与表征
第33-34页
· 光学显微镜(OM)
第34页
· 扫描电镜(SEM)
第34-37页
第四章 经过快速热处理注入硅中的氮的状态研究
第37-45页
· 前言
第37-38页
· 实验
第38页
· 高纯氮气氛中RTP对氮内扩散的影响
第38-44页
· 本章小结
第44-45页
第五章 基于氮气氛下快速热处理的低热预算内吸杂工艺
第45-55页
· 引言
第45页
· 实验
第45-46页
· RTP加低高两步退火内吸杂工艺
第46-47页
· RTP加单步退火的内吸杂工艺
第47-54页
· 本章小结
第54-55页
第六章 高温快速热处理对300毫米掺氮直拉单晶硅中氧化诱生层错的影响
第55-61页
· 前言
第55页
· 实验
第55-56页
· 实验结果与讨论
第56-60页
· 本章小结
第60-61页
第七章 总结
第61-63页
参考文献
第63-71页
致谢
第71-73页
个人简历
第73-75页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果
第75页
本篇论文共
75
页,
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