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快速热处理对直拉单晶硅缺陷的调控

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快速热处理对直拉单晶硅缺陷的调控
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 前言第9-11页
  · 研究的背景与意义第9-10页
  · 本研究的目的第10页
  · 本研究的结构安排第10-11页
第二章 文献综述第11-29页
  · 引言第11页
  · 直拉单晶硅中的氧第11-16页
    · 硅中氧的引入第12-13页
    · 氧的基本性质第13-15页
    · 硅中氧的测量第15-16页
  · 硅中的氧沉淀第16-22页
    · 氧沉淀的热力学与动力学第17-18页
    · 氧沉淀的形貌第18-19页
    · 氧沉淀诱生的缺陷第19-21页
    · 氧沉淀形成的影响因素第21-22页
  · 直拉单晶硅中的内吸杂第22-24页
  · 硅中的氮第24-25页
  · 快速热处理(RTP)第25-27页
  · 小结第27-29页
第三章 实验设备和实验样品第29-37页
  · 实验样品第29-30页
    · 轻掺CZ、NCZ和FZ硅样品第29页
    · 样品制备和预处理第29-30页
  · 热处理设备和样品制备第30-32页
    · 普通热处理炉第30页
    · 快速热处理设备(RTP)第30-32页
  · 分析测试设备与方法第32-37页
    · 间隙氧浓度测量与傅里叶红外光谱仪(FTIR)第32-33页
    · 四探针测试仪第33页
    · 硅中缺陷的择优腐蚀与表征第33-34页
    · 光学显微镜(OM)第34页
    · 扫描电镜(SEM)第34-37页
第四章 经过快速热处理注入硅中的氮的状态研究第37-45页
  · 前言第37-38页
  · 实验第38页
  · 高纯氮气氛中RTP对氮内扩散的影响第38-44页
  · 本章小结第44-45页
第五章 基于氮气氛下快速热处理的低热预算内吸杂工艺第45-55页
  · 引言第45页
  · 实验第45-46页
  · RTP加低高两步退火内吸杂工艺第46-47页
  · RTP加单步退火的内吸杂工艺第47-54页
  · 本章小结第54-55页
第六章 高温快速热处理对300毫米掺氮直拉单晶硅中氧化诱生层错的影响第55-61页
  · 前言第55页
  · 实验第55-56页
  · 实验结果与讨论第56-60页
  · 本章小结第60-61页
第七章 总结第61-63页
参考文献第63-71页
致谢第71-73页
个人简历第73-75页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第75页

本篇论文共75页,点击这进入下载页面
 
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