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铟镓砷表面形貌相变动态化过程的研究
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铟镓砷表面形貌相变动态化过程的研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-7页
第一章 绪论
第7-8页
第二章 高真空环境
第8-14页
· 气体分子平均自由程
第8-10页
· 单层覆盖时间
第10-12页
· 本实验超高真空环境的获得
第12-14页
第三章 分子束外延
第14-25页
· 分子束外延原理及设备
第14-15页
· 系统组成
第15-17页
· 真空旋转样品操作台
第15-16页
· 分子束源炉
第16页
· 束流监控器
第16页
· 计算机控制系统
第16-17页
· RHEED
第17-20页
· 工作原理
第17-18页
· RHEED在测量外延生长速率中的应用
第18-19页
· 与RHEED相关样品盘的改造
第19-20页
· As压校准
第20-25页
· 砷坩锅的结构及工作原理
第21-22页
· 砷压校准方法
第22页
· 实验结果及分析
第22-24页
· 校准结论
第24-25页
第四章 扫描隧道显微镜
第25-37页
· 扫描隧道显微镜原理及组成
第25-26页
· 扫描隧道显微镜调试
第26-31页
· 低温扫描隧道显微镜(LT-STM)的结构特点
第27-28页
· 仪器的安装及样品和探针的装入
第28页
· LT-STM的烘烤
第28-29页
· LT-STM的扫描成像调试
第29-30页
· LT-STM探针的清洗
第30-31页
· STM探针电极腐蚀装置
第31-37页
· 探针电化学腐蚀原理
第31页
· 自制STM探针电化学腐蚀装置及实验方法
第31-33页
· 实验研究及结果分析
第33-35页
· 结论
第35-37页
第五章 表面形貌的相变过程
第37-55页
· GaAs和InGaAs表面重构
第37-43页
· GaAs(001)的表面重构
第37-40页
· 基于CaAs(001)的表面重构相变的衬底温度校准
第40-41页
· InGaAs表面重构
第41-43页
· 表面形貌的相变模型
第43-47页
· 有序-无序转变、艾辛模型和格气模型
第44-45页
· RSOS模型
第45-46页
· 粗糙化与预粗糙化
第46-47页
· 实验方案及分析
第47-55页
· 样品清洗
第48页
· 样品脱氧化
第48-50页
· 样品生长及退火
第50-51页
· 实验结果及分析
第51-55页
第六章 结论
第55-56页
致谢
第56-57页
参考文献
第57-61页
攻读硕士学位期间发表的论文和参加科研情况
第61-62页
本篇论文共
62
页,
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。
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