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铟镓砷表面形貌相变动态化过程的研究

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铟镓砷表面形貌相变动态化过程的研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第7-8页
第二章 高真空环境第8-14页
  · 气体分子平均自由程第8-10页
  · 单层覆盖时间第10-12页
  · 本实验超高真空环境的获得第12-14页
第三章 分子束外延第14-25页
  · 分子束外延原理及设备第14-15页
  · 系统组成第15-17页
    · 真空旋转样品操作台第15-16页
    · 分子束源炉第16页
    · 束流监控器第16页
    · 计算机控制系统第16-17页
  · RHEED第17-20页
    · 工作原理第17-18页
    · RHEED在测量外延生长速率中的应用第18-19页
    · 与RHEED相关样品盘的改造第19-20页
  · As压校准第20-25页
    · 砷坩锅的结构及工作原理第21-22页
    · 砷压校准方法第22页
    · 实验结果及分析第22-24页
    · 校准结论第24-25页
第四章 扫描隧道显微镜第25-37页
  · 扫描隧道显微镜原理及组成第25-26页
  · 扫描隧道显微镜调试第26-31页
    · 低温扫描隧道显微镜(LT-STM)的结构特点第27-28页
    · 仪器的安装及样品和探针的装入第28页
    · LT-STM的烘烤第28-29页
    · LT-STM的扫描成像调试第29-30页
    · LT-STM探针的清洗第30-31页
  · STM探针电极腐蚀装置第31-37页
    · 探针电化学腐蚀原理第31页
    · 自制STM探针电化学腐蚀装置及实验方法第31-33页
    · 实验研究及结果分析第33-35页
    · 结论第35-37页
第五章 表面形貌的相变过程第37-55页
  · GaAs和InGaAs表面重构第37-43页
    · GaAs(001)的表面重构第37-40页
    · 基于CaAs(001)的表面重构相变的衬底温度校准第40-41页
    · InGaAs表面重构第41-43页
  · 表面形貌的相变模型第43-47页
    · 有序-无序转变、艾辛模型和格气模型第44-45页
    · RSOS模型第45-46页
    · 粗糙化与预粗糙化第46-47页
  · 实验方案及分析第47-55页
    · 样品清洗第48页
    · 样品脱氧化第48-50页
    · 样品生长及退火第50-51页
    · 实验结果及分析第51-55页
第六章 结论第55-56页
致谢第56-57页
参考文献第57-61页
攻读硕士学位期间发表的论文和参加科研情况第61-62页

本篇论文共62页,点击这进入下载页面
 
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