教育论文网

约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→数理科学和化学论文→化学论文→物理化学（理论化学）、化学物理学论文→电化学、电解、磁化学论文
约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工
论文目录
 
中文摘要第1-7 页
英文摘要第7-12 页
第一章 绪论第12-33 页
　　§1．1 微系统简介第12-14 页
　　§1．2 电化学在微系统中的应用第14-24 页
　　§1．3 约束刻蚀剂层技术简介第24-26 页
　　§1．4 本论文工作的目的和设想第26-30 页
　　参考文献第30-33 页
第二章 实验第33-49 页
　　§2．1 试剂、溶液、半导体材料及靶材第33-34 页
　　§2．2 电极的制备和处理第34-35 页
　　§2．3 实验装置第35 页
　　§2．4 超精密电化学微加工驱动系统第35-37 页
　　§2．5 镀膜技术——射频溅射第37-39 页
　　§2．6 原子力显微镜技术第39-40 页
　　参考文献第40-49 页
第三章 电化学模板电极的制备第49-55 页
　　§3．1 电化学模板的特点第49-50 页
　　§3．2 Si模板的导电镀层第50 页
　　§3．3 Si模板引线的制作第50 页
　　§3．4 电极的包封第50 页
　　§3．5 电化学模板的性能测试第50-51 页
　　参考文献第51-55 页
第四章 用规则模板对半导体GaAs的加工刻蚀第55-71 页
　　§4．1 利用CELT刻蚀GaAs的化学体系第55-58 页
　　§4．2 齿状模板对GaAs的加工刻蚀第58-60 页
　　§4．3 金字塔状模板对GaAs的加工刻蚀第60-61 页
　　§4．4 正六边形模板对GaAs的加工复制第61 页
　　§4．5 本章小结第61-62 页
　　参考文献第62-71 页
第五章 约束刻蚀剂层技术用作抛光平整的初步研究第71-77 页
　　§5．1 现有的抛光技术第71 页
　　§5．2 CELT技术用作抛光手段第71-72 页
　　§5．3 对GaAs表面的抛光平整的初步结果第72-73 页
　　参考文献第73-77 页
作者硕士期间发表和交流的论文第77-78 页
致谢第78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
约束刻蚀剂层技术用于砷化镓三维规
木素絮凝沉淀-石灰除硫酸盐-脱氨-S
茂名石化应用企业资源计划系统研究
过渡金属（Cr、Co、Fe）和主族元素
茂名石化工程有限公司生存发展战略
一种新型的模糊推理系统及状态预测
遗传算法在模糊模型辨识中的应用
一种带有反馈随动机构的霍尔位移传
基于B/S模式的管理信息系统的研究与
网络时代中的新闻传播变革
中国传统文化与旅游管理
报纸品牌建设--21世纪中国报业发展
电视叙事理论刍议
CMOS数字图像传感器的设计
网络广告传播研究
影响会计软件发展的若干因素分析
厦门广播电视产业化发展的战略思考
分布式远程巡回测温系统的实现
分布式远程流量监测系统的实现
Si、InGaAs/InP MsM光电探测器的研
光纤氧传感膜的研制及传感器在环境
广播电视发射台微机实时监控系统的
电容式压力微传感器及其无线测量系
接触式电容压力微传感器的分析与设
论中国多媒体艺术光盘的艺术特性
我国电视媒体网站初探
时域有限差分算法在光波导分析中的
基于Agent技术的网上实验室的建设
语音实时压缩解压及DSP实现
光纤气体相关光谱检测的研究
汉英机器翻译英文生成模块XMGEN的设
国民核算与企业核算一体化研究
基于粗集理论的属性处理方法和模糊
基于ADV601LC编解码器的远程多媒体
大型复杂曲面弯板机器人控制器
人脑图谱中图象三维重建方法的研究
汉英机器翻译系统中的一种语义排岐
利用环形自同构映射的频域数字水印
大规模多用户虚拟世界及其冲突检测
 
微系统论文 约束刻蚀剂层技术论文 三维微加工论文 电化学论文
版权申明：目录由用户xbw**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved