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支持MEMS系统级设计的仿真器研究
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支持MEMS系统级设计的仿真器研究
论文目录
摘要
第1-4 页
ABSTRACT
第4-5 页
目录
第5-7 页
第一章 绪论
第7-14 页
· MEMS系统级设计与仿真器
第8-10 页
· MEMS系统级设计简介
第8-9 页
· 仿真器在MEMS系统级设计中的作用
第9-10 页
· 数/模混合信号仿真器国内外现状
第10-11 页
· ZeniVDE仿真器
第11-12 页
· 课题来源及本论文的研究内容
第12-14 页
第二章 基于VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模
第14-31 页
· VHDL-AMS语言模拟扩展部分的基本语义
第14-18 页
· 量(quantity)
第15-16 页
· 端口(terminal)
第16 页
· 性质(nature)
第16-17 页
· 联立语句
第17-18 页
· ZeniVDE中的库
第18 页
· 基于 VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模方式
第18-23 页
· 守恒系统建模
第19-20 页
· 非守恒系统建模
第20-22 页
· 频域交流和噪声建模
第22 页
· 基于 VHDL-AMS语言的系统建模
第22-23 页
· 基于 VHDL-AMS语言的MEMS建模实例
第23-30 页
· 微梁模型的建立
第24-28 页
· 梁模型的组件编码
第28-29 页
· 梁系统模型的建立
第29-30 页
· 本章小结
第30-31 页
第三章 模拟解算器的实现
第31-49 页
· 仿真器总体求解流程
第31-32 页
· 基于 VHDL-AMS语言的模型确立
第32-39 页
· 跳动的小球模型
第33-34 页
· 显式集
第34 页
· 结构集
第34-35 页
· 增广集
第35-39 页
· 中断集
第39 页
· 系统方程组的可解性
第39-40 页
· 模拟解算器的求解流程
第40-48 页
· 微分代数方程组数值解法
第41-42 页
· 非线性代数方程组数值解法
第42-43 页
· 线性代数方程组数值解法
第43-48 页
· 本章小结
第48-49 页
第四章 MEMS系统级仿真的软件实现及验证
第49-58 页
4 1 ZeniVDE仿真器
第49-50 页
· 仿真及验证
第50-57 页
· 梳齿谐振器宏模型的仿真及验证
第50-53 页
· 微加速度计模型仿真及验证
第53-57 页
· 仿真结果及仿真器性能分析
第57 页
· 本章小结
第57-58 页
第五章 总结与展望
第58-60 页
· 总结
第58-59 页
· 展望
第59-60 页
参考文献
第60-63 页
研究生期间发表论文
第63 页
参加科研项目情况
第63-64 页
致谢
第64-65 页
附录
第65-82 页
附录 A:梳齿谐振器设计参数
第65-67 页
附录 B:梳齿谐振器模型
第67-68 页
附录 C:力源模型
第68-69 页
附录 D:微梁模型
第69-81 页
附录 E:质量块、梳齿、锚点的实体描述
第81-82 页
本篇论文共
82
页,
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