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支持MEMS系统级设计的仿真器研究

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支持MEMS系统级设计的仿真器研究
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-5 页
目录第5-7 页
第一章 绪论第7-14 页
  · MEMS系统级设计与仿真器第8-10 页
    · MEMS系统级设计简介第8-9 页
    · 仿真器在MEMS系统级设计中的作用第9-10 页
  · 数/模混合信号仿真器国内外现状第10-11 页
  · ZeniVDE仿真器第11-12 页
  · 课题来源及本论文的研究内容第12-14 页
第二章 基于VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模第14-31 页
  · VHDL-AMS语言模拟扩展部分的基本语义第14-18 页
    · 量(quantity)第15-16 页
    · 端口(terminal)第16 页
    · 性质(nature)第16-17 页
    · 联立语句第17-18 页
    · ZeniVDE中的库第18 页
  · 基于 VHDL-AMS语言的MEMS系统级建模方式第18-23 页
    · 守恒系统建模第19-20 页
    · 非守恒系统建模第20-22 页
    · 频域交流和噪声建模第22 页
    · 基于 VHDL-AMS语言的系统建模第22-23 页
  · 基于 VHDL-AMS语言的MEMS建模实例第23-30 页
    · 微梁模型的建立第24-28 页
    · 梁模型的组件编码第28-29 页
    · 梁系统模型的建立第29-30 页
  · 本章小结第30-31 页
第三章 模拟解算器的实现第31-49 页
  · 仿真器总体求解流程第31-32 页
  · 基于 VHDL-AMS语言的模型确立第32-39 页
    · 跳动的小球模型第33-34 页
    · 显式集第34 页
    · 结构集第34-35 页
    · 增广集第35-39 页
    · 中断集第39 页
  · 系统方程组的可解性第39-40 页
  · 模拟解算器的求解流程第40-48 页
    · 微分代数方程组数值解法第41-42 页
    · 非线性代数方程组数值解法第42-43 页
    · 线性代数方程组数值解法第43-48 页
  · 本章小结第48-49 页
第四章 MEMS系统级仿真的软件实现及验证第49-58 页
  4 1 ZeniVDE仿真器第49-50 页
  · 仿真及验证第50-57 页
    · 梳齿谐振器宏模型的仿真及验证第50-53 页
    · 微加速度计模型仿真及验证第53-57 页
  · 仿真结果及仿真器性能分析第57 页
  · 本章小结第57-58 页
第五章 总结与展望第58-60 页
  · 总结第58-59 页
  · 展望第59-60 页
参考文献第60-63 页
研究生期间发表论文第63 页
参加科研项目情况第63-64 页
致谢第64-65 页
附录第65-82 页
  附录 A:梳齿谐振器设计参数第65-67 页
  附录 B:梳齿谐振器模型第67-68 页
  附录 C:力源模型第68-69 页
  附录 D:微梁模型第69-81 页
  附录 E:质量块、梳齿、锚点的实体描述第81-82 页

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