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图案化AAO模板恒流法制备及应用
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图案化AAO模板恒流法制备及应用
论文目录
摘要
第1-3 页
Abstract
第3-7 页
引言
第7-8 页
第一章 文献综述
第8-24 页
· 氧化铝膜的基本介绍
第8-10 页
· 纳米孔氧化铝模板的制备
第10-13 页
· 恒压二次氧化法
第11-12 页
· 恒流二次氧化法
第12-13 页
· 纳米图案化技术的研究现状
第13-21 页
· 光刻技术
第14-16 页
· 分子组装技术(Molecule assembly)
第16-17 页
· 纳米加工技术
第17-18 页
· 纳米压印技术(NIL)
第18-20 页
· 化学生长技术
第20-21 页
· 薄膜技术
第21 页
· 本课题的研究目的及意义
第21-24 页
第二章 阳极氧化铝模板的恒流法制备与表征
第24-36 页
· 实验部分
第24-26 页
· 试剂和仪器
第24-25 页
· 实验方法及步骤
第25 页
· 测试样品的制备与表征
第25-26 页
· 结果与讨论
第26-34 页
· 电流密度对模板制备的影响
第26-31 页
· 恒流6mA氧化
第26-27 页
· 恒流8mA氧化
第27-28 页
· 恒流10mA氧化
第28-29 页
· 恒流12mA氧化
第29-30 页
· 恒流14mA氧化
第30-31 页
· 氧化时间对模板制备的影响
第31-33 页
· 氧化温度对模板制备的影响
第33-34 页
· 本章结论
第34-36 页
第三章 最佳光刻工艺条件的研究
第36-47 页
· 实验部分
第36-38 页
· 试剂和仪器
第36-37 页
· 实验方法及步骤
第37-38 页
· 测试样品的制备与表征
第38 页
· 结果与讨论
第38-46 页
· 图案化的铝片
第38-42 页
· 匀胶速率的影响
第38-40 页
· 后烘时间的影响
第40 页
· 匀胶量的影响
第40-41 页
· 曝光时间的影响
第41-42 页
· 玻璃片的图案化
第42-43 页
· 匀胶量的影响
第42-43 页
· 曝光时间的影响
第43 页
· AAO模板的图案化
第43-46 页
· 显影时间为10s
第43-44 页
· 显影时间为15s
第44-45 页
· 显影时间为20s
第45-46 页
· 本章小结
第46-47 页
第四章 图案化 AAO模板的恒流法制备及其应用
第47-60 页
· 实验部分
第47-50 页
· 试剂及仪器
第47-48 页
· 实验方法及步骤
第48-50 页
· 图案化 AAO模板的制备
第48-49 页
· 图案化 PS一维纳米结构阵列的溶液法制备
第49 页
· 图案化铜纳米线的制备
第49-50 页
· 结果与讨论
第50-59 页
· 图案化的 AAO模板
第50-52 页
· 溶液法制备图案化的 PS一维纳米结构
第52-54 页
· 磷铬酸溶解模板
第52-53 页
· 氢氧化钠溶解模板
第53-54 页
· 熔融法制备图案化的 PS一维纳米结构
第54-55 页
· 图案化铜纳米线
第55-59 页
· 恒压沉积 10min
第55-56 页
· 恒压沉积 20min
第56-57 页
· 恒压沉积 60min
第57-59 页
· 本章结论
第59-60 页
结论
第60-63 页
参考文献
第63-68 页
攻读学位期间的研究成果
第68-69 页
致谢
第69-71 页
本篇论文共
71
页,
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。
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