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图案化AAO模板恒流法制备及应用

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图案化AAO模板恒流法制备及应用
论文目录
 
摘要第1-3 页
Abstract第3-7 页
引言第7-8 页
第一章 文献综述第8-24 页
  · 氧化铝膜的基本介绍第8-10 页
  · 纳米孔氧化铝模板的制备第10-13 页
    · 恒压二次氧化法第11-12 页
    · 恒流二次氧化法第12-13 页
  · 纳米图案化技术的研究现状第13-21 页
    · 光刻技术第14-16 页
    · 分子组装技术(Molecule assembly)第16-17 页
    · 纳米加工技术第17-18 页
    · 纳米压印技术(NIL)第18-20 页
    · 化学生长技术第20-21 页
    · 薄膜技术第21 页
  · 本课题的研究目的及意义第21-24 页
第二章 阳极氧化铝模板的恒流法制备与表征第24-36 页
  · 实验部分第24-26 页
    · 试剂和仪器第24-25 页
    · 实验方法及步骤第25 页
    · 测试样品的制备与表征第25-26 页
  · 结果与讨论第26-34 页
    · 电流密度对模板制备的影响第26-31 页
      · 恒流6mA氧化第26-27 页
      · 恒流8mA氧化第27-28 页
      · 恒流10mA氧化第28-29 页
      · 恒流12mA氧化第29-30 页
      · 恒流14mA氧化第30-31 页
    · 氧化时间对模板制备的影响第31-33 页
    · 氧化温度对模板制备的影响第33-34 页
  · 本章结论第34-36 页
第三章 最佳光刻工艺条件的研究第36-47 页
  · 实验部分第36-38 页
    · 试剂和仪器第36-37 页
    · 实验方法及步骤第37-38 页
    · 测试样品的制备与表征第38 页
  · 结果与讨论第38-46 页
    · 图案化的铝片第38-42 页
      · 匀胶速率的影响第38-40 页
      · 后烘时间的影响第40 页
      · 匀胶量的影响第40-41 页
      · 曝光时间的影响第41-42 页
    · 玻璃片的图案化第42-43 页
      · 匀胶量的影响第42-43 页
      · 曝光时间的影响第43 页
    · AAO模板的图案化第43-46 页
      · 显影时间为10s第43-44 页
      · 显影时间为15s第44-45 页
      · 显影时间为20s第45-46 页
  · 本章小结第46-47 页
第四章 图案化 AAO模板的恒流法制备及其应用第47-60 页
  · 实验部分第47-50 页
    · 试剂及仪器第47-48 页
    · 实验方法及步骤第48-50 页
      · 图案化 AAO模板的制备第48-49 页
      · 图案化 PS一维纳米结构阵列的溶液法制备第49 页
      · 图案化铜纳米线的制备第49-50 页
  · 结果与讨论第50-59 页
    · 图案化的 AAO模板第50-52 页
    · 溶液法制备图案化的 PS一维纳米结构第52-54 页
      · 磷铬酸溶解模板第52-53 页
      · 氢氧化钠溶解模板第53-54 页
    · 熔融法制备图案化的 PS一维纳米结构第54-55 页
    · 图案化铜纳米线第55-59 页
      · 恒压沉积 10min第55-56 页
      · 恒压沉积 20min第56-57 页
      · 恒压沉积 60min第57-59 页
  · 本章结论第59-60 页
结论第60-63 页
参考文献第63-68 页
攻读学位期间的研究成果第68-69 页
致谢第69-71 页

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