教育论文网

间接加热式MEMS微波功率传感器的研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→工业技术论文→自动化技术、计算机技术论文→自动化技术及设备论文→自动化元件、部件论文→发送器（变换器）、传感器论文
间接加热式MEMS微波功率传感器的研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
第一章 绪论第8-19 页
　　· 微电子机械系统(MEMS)第8-11 页
　　　　· 微电子机械系统的基本定义第8-9 页
　　　　· MEMS的特点第9 页
　　　　· MEMS的广泛应用第9-11 页
　　· 射频微机械系统和微波功率传感器第11-17 页
　　　　· 射频微机械系统的研究背景第11 页
　　　　· 微波功率传感器第11-17 页
　　· 目前存在的问题以及本论文的工作第17-18 页
　　　　· 目前存在的问题第17 页
　　　　· 本论文的工作第17-18 页
　　· 结论第18-19 页
第二章 间接加热式微波功率传感器的工作原理和设计分析第19-27 页
　　· 间接加热式微波功率传感器中的传热机制第19-20 页
　　　　· 热传导(导热)第19 页
　　　　· 对流换热第19-20 页
　　　　· 辐射换热第20 页
　　· 间接加热式微波功率传感器的工作原理以及传热路径第20-22 页
　　　　· 间接加热式微波功率传感器工作原理第20-21 页
　　　　· 间接加热式微波功率传感器的传热路径第21-22 页
　　· 传感器中的基本单元及性能第22-25 页
　　　　· 共面波导第22-23 页
　　　　· 终端电阻第23-24 页
　　　　· 热电堆第24-25 页
　　· 总体结构的性能指标第25-26 页
　　· 目标要求和设计确定第26 页
　　· 结论第26-27 页
第三章 间接加热式微波功率传感器的模拟与设计第27-47 页
　　· 微机械共面波导的分析与设计第27-32 页
　　　　· 微机械共面波导特性阻抗的电容分析第27-30 页
　　　　· 共面波导与接触垫之间的阻抗匹配分析第30-32 页
　　· 热电堆的分析与设计第32-38 页
　　　　· 半导体温差电动势影响因素第32-33 页
　　　　· 热电堆的性能参数第33-34 页
　　　　· 热电堆的分析与设计第34-38 页
　　· 共面波导与电阻的温度场分析第38-40 页
　　　　· 采用Coventorware软件模拟第38 页
　　　　· 采用ANSYS软件模拟第38-39 页
　　　　· 模型验证第39-40 页
　　· 三种结构的比较第40-43 页
　　　　· 热电堆处于终端电阻的下方第40-41 页
　　　　· 热电堆在终端电阻的上方第41-42 页
　　　　· 热电堆在终端电阻的外侧第42-43 页
　　· 共面波导与热电堆的分析第43-46 页
　　　　· 热电偶的数目对共面波导的影响第43-44 页
　　　　· 热电堆的靠近对共面波导性能的影响第44-46 页
　　· 结论第46-47 页
第四章 间接加热式微波功率传感器的工艺与版图设计第47-54 页
　　· 工艺设计第47-51 页
　　　　· 间接加热式微波功率传感器的工艺流程第47-49 页
　　　　· 版图设计第49-51 页
　　· 薄膜制造工艺第51-53 页
　　　　· Si衬底的刻蚀第51-52 页
　　　　· GaAs衬底的刻蚀第52-53 页
　　· 总结第53-54 页
第五章 总结与展望第54-56 页
　　· 本论文工作的主要内容第54 页
　　· 对进一步研究工作的展望第54-56 页
致谢第56-57 页
作者简介第57 页
攻读硕士期间发表的论文第57-58 页
参考文献第58-60 页

本篇论文共60页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
间接加热式MEMS微波功率传感器的研
基于辐射传输模型的遥感图像大气校
旅行社产业集中度与市场绩效相关性
东亚区域资本流动与国际分工研究
大气程辐射对遥感图像像元值贡献估
种业上市公司财务绩效评价研究
GIS空间分析支持下长春市城镇化趋势
泰安市食品质量安全管理体系建设研
我国商业银行的资本充足率监管研究
基于GIS空间分析的乡镇区划调整方法
新泰市城镇化发展问题及对策研究
公共园林文化流变的一个缩影--云南
含中性配体的磺酸银配位聚合物的合
Survivin在膀胱癌的表达及与PCNA，
土地整理项目区景观生态效应研究
塞德节与古代埃及年代学
基于地质环境评价的中心城区土地利
卷烟厂风力送丝系统输送风速稳定性
镇域耕地生态因子的协同性分析与管
电离辐射对connexin43基因表达水平
丘陵区土地整理对土壤质量的影响研
深基坑抗隆起破坏的模糊可靠度分析
NO-1886增敏生长激素信号通路提高胆
DADS诱导人胃癌MGC803细胞相关基因
环境水样中污染物4-壬基酚和镉检测
压应力对体外培养的血管平滑肌细胞
脆性X智力低下基因1 mRNA 3’UTR结
Survivin和VEGF在前列腺癌组织中的
乙型肝炎病毒X蛋白损害NK细胞功能导
环境样品中痕量甲醛检测新方法研究
DNA损伤生物标志物8-羟基脱氧鸟苷检
微型钛板的研制及在椎管成形术中的
EGCG通过下调Bcl-2表达，活化Caspa
企业隐性知识内部转移模式及组织实
14-3-3σ基因启动子高甲基化在脑胶
N-乙酰半胱氨酸治疗大鼠急性坏死性
基于计算机视觉的三维形体检测方法
重症急性胰腺炎大鼠肠屏障功能障碍
纤维增强高性能轻骨料混凝土物理力
色诺芬的经济思想
青藤碱对人外周血CD4～+T细胞凋亡和
SNP芯片数据库及其分析工具的构建和
日本型“华夷思想与华夷秩序体系”
大鼠胰岛细胞移植及ICAM-1/LFA-1在
黄河三角洲的土地利用变化及生态安
我国上市公司董事会模式与特征研究
“和魂汉才”与“和魂洋才”关系论
抗菌肽SMAP-29基因的设计、合成、表
蒙阴县土地利用动态变化研究
风粉在线监测系统工程应用研究
通化医药产业集群的形成机制与对策
绿茶多酚对甲醛致内皮细胞株（HUVE
通化市城镇体系调整与优化研究
以农民为主体的农业技术创新机制研
热平衡状态下半导体量子流体动力学
肺炎衣原体OmpA基因VD2-VD3区重组蛋
城市非点源污染及其控制研究--以四
中国种业产业化组织与策略研究
由介质球构成的三维光子晶体能带结
镜泊湖流域非点源污染研究
农田水利基础设施投资问题研究--以
单纯疱疹病毒1型ICP0真核载体的构建
多点输入下空间网格结构拟静力位移
叶类蔬菜贮存过程中硝酸盐和亚硝酸
山东省农业机械化发展及对策研究
大潮气量通气致兔VILI模型建构及IL
 
MEMS论文 微波功率传感器论文 共面波导论文 终端电阻论文 热电堆论文 砷化镓论文
版权申明：目录由用户1081**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved