纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定

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纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定

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纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定

论文目录
摘要	第1-6 页
Abstract	第6-7 页
致谢	第7-11 页
第一章绪论	第11-17 页
· 三坐标测量机精度理论其发展现状	第11-14 页
· 误差分离技术研究现状	第14-15 页
· 课题来源及意义	第15-16 页
· 本论文的主要内容	第16-17 页
第二章纳米三坐标测量机的精度分析	第17-24 页
· 纳米三坐标测量机的精度分析	第17-22 页
· 纳米三坐标测量机的结构	第17-18 页
· 误差源分析	第18-22 页
· 总体精度设计与误差分配	第22-24 页
第三章基于样条插值的误差拟合方法的研究	第24-29 页
· 基于三次样条插值的测量机单项误差拟合方法	第24-26 页
· 三次样条插值理论	第24-25 页
· 基于三次样条插值理论的误差曲线拟合程序	第25-26 页
· 基于双三次样条原理的测量机相关性三维误差建模	第26-29 页
· 双三次样条函数计算方法	第26-28 页
· 误差曲面拟合程序	第28-29 页
第四章误差分离方法与实验	第29-43 页
· 误差分离方法	第29-32 页
· X 轴、Y 轴方向的误差分离方法	第30 页
· Z 轴方向的误差分离方法	第30-32 页
· 误差测量装置	第32-34 页
· 两维平面工作台运动瞬时中心对导轨误差的影响分析	第34-38 页
· 纳米工作台运动特点	第34-35 页
· 纳米工作台表面运动轨迹	第35-37 页
· 基于运动瞬时中心的误差分离与修正方法	第37-38 页
· 实验数据处理与误差修正	第38-43 页
第五章误差修正后的精度评定	第43-46 页
· X 轴方向的精度评定	第43-44 页
· Y 轴方向的精度评定	第44-45 页
· Z 轴方向的精度评定	第45-46 页
第六章总结和展望	第46-48 页
· 研究总结	第46 页
· 今后研究工作展望	第46-48 页
参考文献	第48-50 页
攻读硕士学位期间发表的论文	第50-51页

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