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ZnO薄膜的制备及氨化Ga2O3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究

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ZnO薄膜的制备及氨化Ga2O3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究
论文目录
 
摘要第1-8 页
Abstract第8-12 页
第一章 绪论第12-36 页
  · GaN 材料的基本性质,应用及研究进展第12-20 页
  · ZnO 材料的基本性质及其应用第20-23 页
  · 纳米材料和器件的研究概况第23-33 页
  · 选题依据第33-36 页
第二章 实验设备和测试方法第36-40 页
  · 实验设备第36-37 页
  · 实验中所需要的主要材料和试剂第37-38 页
  · 样品的测试和表征第38-40 页
第三章 射频磁控溅射和退火法制备 ZnO 薄膜第40-46 页
  · 样品的制备第40 页
  · 结果与分析第40-45 页
  · 结论第45-46 页
第四章 一维 GaN 纳米结构的合成第46-62 页
  · 氨化温度对 GaN 纳米结构形貌的影响第46-50 页
  · 氨化时间对 GaN 纳米结构形貌的影响第50-53 页
  · ZnO 层溅射时间对 GaN 纳米结构形貌的影响第53-54 页
  · 样品的透射电镜(TEM)和选区电子衍射(SAED)分析第54-56 页
  · 纳米结构的高分辨电镜(HRTEM)分析第56-57 页
  · 纳米结构生长机制初探第57-62 页
第五章 结论第62-64 页
  · 本文的主要研究结果第62-63 页
  · 对今后工作的建议第63-64 页
参考文献第64-71 页
攻读硕士学位期间发表的论文目录第71-74 页
致谢第74 页

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