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基于干涉原理的微纳米测量系统研究
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基于干涉原理的微纳米测量系统研究
论文目录
 
致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
1 引言第10-14页
　　　　1.1 课题研究背景和意义第10页
　　　　1.2 国内外研究现状第10-12页
　　　　1.3 目前技术的不足第12-14页
2 传感系统的提出第14-19页
　　　　2.1 光纤迈克尔逊干涉仪第14-16页
　　　　　　　　2.1.1 工作原理第14-15页
　　　　　　　　2.1.2 技术特点分析第15-16页
　　　　2.2 光纤低相干干涉仪第16-19页
　　　　　　　　2.2.1 工作原理第16-18页
　　　　　　　　2.2.2 技术特点分析第18-19页
3 测量系统分析第19-32页
　　　　3.1 关键器件介绍第19-24页
　　　　　　　　3.1.1 光纤耦合器第19-20页
　　　　　　　　3.1.2 光纤隔离器第20-21页
　　　　　　　　3.1.3 光纤布拉格光栅第21-22页
　　　　　　　　3.1.4 光环行器第22-23页
　　　　　　　　3.1.5 压电致动线性平移台M第23-24页
　　　　3.2 光纤低相干干涉传感系统测量原理分析第24-29页
　　　　　　　　3.2.1 低相干干涉部分原理分析第26-28页
　　　　　　　　3.2.2 高相干干涉部分原理分析第28-29页
　　　　3.3 测量系统的技术创新优势第29-32页
　　　　　　　　3.3.1 低相干干涉和高相干干涉复用设计第29-30页
　　　　　　　　3.3.2 短光纤干涉臂设计第30-31页
　　　　　　　　3.3.3 长距离远程测量第31-32页
4 实验结果第32-36页
　　　　4.1 测量系统的稳定性第32-33页
　　　　4.2 低相干干涉信号和高相干干涉信号第33-34页
　　　　4.3 系统的分辨率和量程第34页
　　　　4.4 系统的线性度第34-35页
　　　　4.5 系统评价第35-36页
5 基于线扫描的纳米表面三维干涉测量系统第36-48页
　　　　5.1 关键器件介绍第36-39页
　　　　　　　　5.1.1 闪耀光栅第36-37页
　　　　　　　　5.1.2 线阵CCD探测器第37-39页
　　　　5.2 系统工作原理第39-41页
　　　　5.3 基于matlab程序的数据处理第41-46页
　　　　　　　　5.3.1 干涉信号数据采集第41-44页
　　　　　　　　5.3.2 计算台阶高度差的程序设计第44-45页
　　　　　　　　5.3.3 数据处理结果第45-46页
　　　　5.4 系统评价第46-48页
6 结论第48-50页
　　　　6.1 论文工作总结第48页
　　　　6.2 展望第48-50页
参考文献第50-52页
作者简历第52-54页
学位论文数据集第54

本篇论文共54页，点击这进入下载页面。
 
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