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多晶硅核心生产装置操作仿真系统的研究与开发

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多晶硅核心生产装置操作仿真系统的研究与开发
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 前言第10-19页
  · 课题研究背景第10-11页
  · 四氯化硅制备三氯氢硅工艺研究现状第11-12页
    · 四氯化硅热氢化制备三氯氢硅研究现状第11-12页
    · 四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅研究现状第12页
    · 四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅研究现状第12页
    · 几种氢化方式的比较第12页
  · 化工装置的仿真培训系统研究现状第12-17页
    · 仿真技术与组态软件简介第12-13页
    · 国内外仿真培训系统研究综述第13-17页
  · 课题研究内容和应用前景第17-19页
    · 课题研究内容第17-18页
    · 课题应用前景第18-19页
第2章 多晶硅核心装置操作仿真系统的需求分析与系统设计第19-28页
  · 四氯化硅制备三氯氢硅冷氢化反应工艺第19-20页
  · 多晶硅核心生产装置主要装置及参数第20-22页
    · 冷氢化反应器第20-21页
    · STC汽化器第21页
    · 反应气电加热器第21-22页
    · 尾气洗涤塔第22页
  · 冷氢化制备三氯氢硅的具体工作流程第22-24页
    · 正常开车操作程序第22-23页
    · 正常停车操作程序第23-24页
  · 操作仿真系统需求分析和系统设计第24-26页
    · 操作仿真系统需求分析第24-25页
    · 操作仿真系统控制点和显示变量设计第25-26页
  · 系统开发的程序开发平台和运行环境第26-27页
  · 本章小结第27-28页
第3章 三氯氢硅生产装置的数学模型第28-38页
  · 化工过程数学模型的建模思想第28页
  · 化工过程建模的方法步骤第28-29页
  · 冷氢化反应器的数学模型第29-31页
    · 冷氢化反应器的出口温度和中间温度第29-30页
    · 冷氢化反应器的实际操作气体速度计算第30页
    · 冷氢化反应器的转化率计算方法第30-31页
    · 冷氢化反应器生成三氯氢硅的质量第31页
  · STC汽化器装置的数学模型第31-35页
    · STC汽化器装置数学建模分析第31-32页
    · STC汽化器数学模型的建立第32页
    · STC汽化器数学模型的求解第32-34页
    · STC汽化器的简化模型第34-35页
  · 反应气电加热器的数学模型第35-36页
  · 管道数学模型第36-37页
    · 管道模型主要参数第36页
    · 管道数学模型的建立第36-37页
  · 本章小结第37-38页
第4章 多晶硅核心生产装置后台仿真模块的开发第38-49页
  · 后台仿真模块开发总述第38-39页
    · 仿真模块开发环境简介第38页
    · 后台仿真模块整体设计第38-39页
  · 冷氢化反应器仿真模块的实现第39-42页
    · 数学模型分析第39-40页
    · 模块仿真程序计算方法分析第40页
    · 模块仿真程序运算表达式第40-41页
    · 模块仿真程序的程序代码第41页
    · 模块仿真程序的界面第41-42页
  · STC汽化器仿真模块的实现第42-46页
    · 数学模型分析第42-43页
    · 模块仿真程序计算方法分析第43页
    · 模块仿真程序运算表达式第43-44页
    · 块仿真程序的程序代码第44-45页
    · 模块仿真程序的界面第45-46页
  · 反应气电加热器仿真模块的实现第46-48页
    · 数学模型分析第46页
    · 模块仿真程序计算方法分析第46-47页
    · 模块仿真程序的程序代码第47页
    · 模块仿真程序的界面第47-48页
  · 本章小结第48-49页
第5章 多晶硅核心装置操作仿真系统组态功能的实现第49-66页
  · 紫金桥组态软件的介绍第49-50页
  · 操作仿真系统主要界面开发第50-52页
    · 系统的安全登录界面第50页
    · 操作仿真系统主界面第50-52页
  · 操作仿真系统功能的实现第52-65页
    · 工程分析第52-53页
    · 制作工程画面第53页
    · 定义点组态第53-55页
    · 动画连接第55-59页
    · 编写控制流程第59-61页
    · 异常报警功能的实现第61-63页
    · 生产报表的输出功能实现第63-65页
  · 本章小结第65-66页
第6章 多晶硅核心生产装置操作仿真系统应用实例第66-75页
  · 氮气置换仿真模块应用实例第66-69页
  · 氢气置换仿真模块应用实例第69-71页
  · 反应器预热仿真模块应用实例第71-74页
  · 本章小结第74-75页
第7章 总结与展望第75-77页
  · 总结第75页
  · 展望第75-77页
参考文献第77-79页
致谢第79页

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