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多晶硅核心生产装置操作仿真系统的研究与开发
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多晶硅核心生产装置操作仿真系统的研究与开发
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
第1章 前言
第10-19页
· 课题研究背景
第10-11页
· 四氯化硅制备三氯氢硅工艺研究现状
第11-12页
· 四氯化硅热氢化制备三氯氢硅研究现状
第11-12页
· 四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅研究现状
第12页
· 四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅研究现状
第12页
· 几种氢化方式的比较
第12页
· 化工装置的仿真培训系统研究现状
第12-17页
· 仿真技术与组态软件简介
第12-13页
· 国内外仿真培训系统研究综述
第13-17页
· 课题研究内容和应用前景
第17-19页
· 课题研究内容
第17-18页
· 课题应用前景
第18-19页
第2章 多晶硅核心装置操作仿真系统的需求分析与系统设计
第19-28页
· 四氯化硅制备三氯氢硅冷氢化反应工艺
第19-20页
· 多晶硅核心生产装置主要装置及参数
第20-22页
· 冷氢化反应器
第20-21页
· STC汽化器
第21页
· 反应气电加热器
第21-22页
· 尾气洗涤塔
第22页
· 冷氢化制备三氯氢硅的具体工作流程
第22-24页
· 正常开车操作程序
第22-23页
· 正常停车操作程序
第23-24页
· 操作仿真系统需求分析和系统设计
第24-26页
· 操作仿真系统需求分析
第24-25页
· 操作仿真系统控制点和显示变量设计
第25-26页
· 系统开发的程序开发平台和运行环境
第26-27页
· 本章小结
第27-28页
第3章 三氯氢硅生产装置的数学模型
第28-38页
· 化工过程数学模型的建模思想
第28页
· 化工过程建模的方法步骤
第28-29页
· 冷氢化反应器的数学模型
第29-31页
· 冷氢化反应器的出口温度和中间温度
第29-30页
· 冷氢化反应器的实际操作气体速度计算
第30页
· 冷氢化反应器的转化率计算方法
第30-31页
· 冷氢化反应器生成三氯氢硅的质量
第31页
· STC汽化器装置的数学模型
第31-35页
· STC汽化器装置数学建模分析
第31-32页
· STC汽化器数学模型的建立
第32页
· STC汽化器数学模型的求解
第32-34页
· STC汽化器的简化模型
第34-35页
· 反应气电加热器的数学模型
第35-36页
· 管道数学模型
第36-37页
· 管道模型主要参数
第36页
· 管道数学模型的建立
第36-37页
· 本章小结
第37-38页
第4章 多晶硅核心生产装置后台仿真模块的开发
第38-49页
· 后台仿真模块开发总述
第38-39页
· 仿真模块开发环境简介
第38页
· 后台仿真模块整体设计
第38-39页
· 冷氢化反应器仿真模块的实现
第39-42页
· 数学模型分析
第39-40页
· 模块仿真程序计算方法分析
第40页
· 模块仿真程序运算表达式
第40-41页
· 模块仿真程序的程序代码
第41页
· 模块仿真程序的界面
第41-42页
· STC汽化器仿真模块的实现
第42-46页
· 数学模型分析
第42-43页
· 模块仿真程序计算方法分析
第43页
· 模块仿真程序运算表达式
第43-44页
· 块仿真程序的程序代码
第44-45页
· 模块仿真程序的界面
第45-46页
· 反应气电加热器仿真模块的实现
第46-48页
· 数学模型分析
第46页
· 模块仿真程序计算方法分析
第46-47页
· 模块仿真程序的程序代码
第47页
· 模块仿真程序的界面
第47-48页
· 本章小结
第48-49页
第5章 多晶硅核心装置操作仿真系统组态功能的实现
第49-66页
· 紫金桥组态软件的介绍
第49-50页
· 操作仿真系统主要界面开发
第50-52页
· 系统的安全登录界面
第50页
· 操作仿真系统主界面
第50-52页
· 操作仿真系统功能的实现
第52-65页
· 工程分析
第52-53页
· 制作工程画面
第53页
· 定义点组态
第53-55页
· 动画连接
第55-59页
· 编写控制流程
第59-61页
· 异常报警功能的实现
第61-63页
· 生产报表的输出功能实现
第63-65页
· 本章小结
第65-66页
第6章 多晶硅核心生产装置操作仿真系统应用实例
第66-75页
· 氮气置换仿真模块应用实例
第66-69页
· 氢气置换仿真模块应用实例
第69-71页
· 反应器预热仿真模块应用实例
第71-74页
· 本章小结
第74-75页
第7章 总结与展望
第75-77页
· 总结
第75页
· 展望
第75-77页
参考文献
第77-79页
致谢
第79页
本篇论文共
79
页,
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