SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作

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SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作

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SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-20页
· 课题背景及研究意义	第10页
· 国内外研究现状	第10-19页
· 本文的研究内容	第19-20页
2 微力传感器的原理与设计	第20-26页
· 微力传感器的原理	第20-22页
· 微力传感器的组成材料	第20页
· 微力传感器的原理	第20-22页
· 微力传感器的尺寸设计	第22-25页
· 本章小结	第25-26页
3 SU-8胶微力传感器的制作工艺研究	第26-39页
· 微力传感器剥离工艺研究	第26-31页
· 剥离工艺流程研究	第26-29页
· 剥离工艺结果分析	第29-31页
· 微力传感器湿法腐蚀工艺研究	第31-38页
· 湿法腐蚀工艺流程研究	第31-33页
· 湿法腐蚀工艺结果分析	第33-38页
· 本章小结	第38-39页
4 微力传感器外围电路设计与制作	第39-49页
· 电桥电路设计与制作	第39-40页
· 三级放大滤波电路设计与制作	第40-45页
· 一级放大电路	第40-42页
· 二级放大电路	第42-44页
· 三级放大电路	第44-45页
· 电源电路设计与制作	第45-48页
· 电压转换芯片LM7812、LM7912	第45-46页
· 电源电路设计与制作	第46-48页
· 本章小结	第48-49页
5 微力传感器的标定及微夹钳夹持力的测量	第49-63页
· 微力传感器标定装置	第49-52页
· 微力传感器的接口装置设计	第49-51页
· 微力传感器标定装置	第51-52页
· 微力传感器标定实验	第52-58页
· 微力传感器偏转灵敏度测量	第52-55页
· 微力传感器力灵敏度标定	第55-58页
· 微夹钳夹持力的测量	第58-62页
· 微夹钳夹持力测量装置	第58-60页
· 微夹钳夹持力的测量	第60-62页
· 本章小结	第62-63页
结论	第63-64页
参考文献	第64-67页
附录A 掩膜版CAD图	第67-69页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第69-70页
致谢	第70-71页

本篇论文共71页，点击这进入下载页面。

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