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AZO薄膜表面织构机理和表面织构均匀性的研究

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AZO薄膜表面织构机理和表面织构均匀性的研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-12页
1 绪论第12-25页
  · 薄膜太阳能电池第12-18页
    · 太阳能电池的发展趋势第12-14页
    · 薄膜太阳能电池的发展现状第14-16页
    · 薄膜太阳能电池的优势和面临的挑战第16-18页
  · 绒面AZO透明导电薄膜第18-23页
    · 透明导电氧化物薄膜第18-19页
    · 绒面AZO薄膜的研究现状第19-22页
    · 绒面AZO薄膜在太阳能电池上的的应用第22-23页
  · 选题思想及意义第23-24页
  · 本文主要研究内容第24-25页
2 实验设备与测试仪器第25-28页
  · 直流磁控溅射装置第25-26页
    · 设备的主要技术规格第25页
    · 实验操作程序第25-26页
  · 薄膜的性能表征第26-27页
    · 电学性能测试第26页
    · 光学性能分析第26-27页
    · 表面形貌分析第27页
    · 厚度测量第27页
  · 本章小结第27-28页
3 绒面AZO薄膜的制备第28-36页
  · 理论分析第28-29页
    · 绒面的定义和表征第28页
    · 绒面的陷光效果第28-29页
  · 绒面AZO薄膜的制备工艺第29-35页
    · 湿法刻蚀第29-30页
    · 优化平面AZO薄膜制备参数第30-32页
    · 湿法蚀刻法腐蚀平面AZO薄膜第32-35页
  · 本章小结第35-36页
4 AZO薄膜表面织构机理第36-42页
  · 酸与AZO薄膜表面反应动力学模式第36-37页
  · 绒面AZO薄膜表面织构机理第37-39页
    · 腐蚀缺陷控制模型第37页
    · 表面织构机理分析第37-39页
  · 反应气压对薄膜绒面结构和反应机理的影响第39-41页
  · 本章小结第41-42页
5 醋酸对绒面AZO薄膜光电性能和表面织构均匀性的影响第42-50页
  · 醋酸对表面反应的作用机理第42-44页
    · 空间位阻效应第42页
    · 醋酸对表面反应的作用机理第42-44页
  · 醋酸对绒面AZO薄膜光电性能的影响第44-47页
    · 醋酸对腐蚀后的AZO薄膜的电学性能的影响第44-45页
    · 醋酸对绒面AZO薄膜绒度的影响第45-47页
  · 醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响第47-49页
  · 本节小结第49-50页
6 总结第50-52页
参考文献第52-57页
致谢第57-58页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第58页

本篇论文共58页,点击这进入下载页面
 
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