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AZO薄膜表面织构机理和表面织构均匀性的研究
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AZO薄膜表面织构机理和表面织构均匀性的研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-12页
1 绪论
第12-25页
· 薄膜太阳能电池
第12-18页
· 太阳能电池的发展趋势
第12-14页
· 薄膜太阳能电池的发展现状
第14-16页
· 薄膜太阳能电池的优势和面临的挑战
第16-18页
· 绒面AZO透明导电薄膜
第18-23页
· 透明导电氧化物薄膜
第18-19页
· 绒面AZO薄膜的研究现状
第19-22页
· 绒面AZO薄膜在太阳能电池上的的应用
第22-23页
· 选题思想及意义
第23-24页
· 本文主要研究内容
第24-25页
2 实验设备与测试仪器
第25-28页
· 直流磁控溅射装置
第25-26页
· 设备的主要技术规格
第25页
· 实验操作程序
第25-26页
· 薄膜的性能表征
第26-27页
· 电学性能测试
第26页
· 光学性能分析
第26-27页
· 表面形貌分析
第27页
· 厚度测量
第27页
· 本章小结
第27-28页
3 绒面AZO薄膜的制备
第28-36页
· 理论分析
第28-29页
· 绒面的定义和表征
第28页
· 绒面的陷光效果
第28-29页
· 绒面AZO薄膜的制备工艺
第29-35页
· 湿法刻蚀
第29-30页
· 优化平面AZO薄膜制备参数
第30-32页
· 湿法蚀刻法腐蚀平面AZO薄膜
第32-35页
· 本章小结
第35-36页
4 AZO薄膜表面织构机理
第36-42页
· 酸与AZO薄膜表面反应动力学模式
第36-37页
· 绒面AZO薄膜表面织构机理
第37-39页
· 腐蚀缺陷控制模型
第37页
· 表面织构机理分析
第37-39页
· 反应气压对薄膜绒面结构和反应机理的影响
第39-41页
· 本章小结
第41-42页
5 醋酸对绒面AZO薄膜光电性能和表面织构均匀性的影响
第42-50页
· 醋酸对表面反应的作用机理
第42-44页
· 空间位阻效应
第42页
· 醋酸对表面反应的作用机理
第42-44页
· 醋酸对绒面AZO薄膜光电性能的影响
第44-47页
· 醋酸对腐蚀后的AZO薄膜的电学性能的影响
第44-45页
· 醋酸对绒面AZO薄膜绒度的影响
第45-47页
· 醋酸对绒面AZO薄膜表面织构均匀性的影响
第47-49页
· 本节小结
第49-50页
6 总结
第50-52页
参考文献
第52-57页
致谢
第57-58页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果
第58页
本篇论文共
58
页,
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