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ITO薄膜的制备及优化设计
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ITO薄膜的制备及优化设计
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-10页
1 绪论第10-15页
　　· 引言第10-11页
　　· 国内外发展现状第11-13页
　　· 本文的研究工作和内容第13-15页
　　　　· 研究目的第13页
　　　　· 研究内容第13-14页
　　　　· 创新点第14-15页
2 ITO薄膜理论基础第15-30页
　　· 引言第15页
　　· ITO薄膜的制备方法第15-20页
　　　　· 真空蒸发法第15-17页
　　　　· 溶胶凝胶法第17-18页
　　　　· 喷雾热分解法第18-19页
　　　　· 化学气相沉积法第19-20页
　　· 磁控溅射原理第20-22页
　　　　· 溅射第20-21页
　　　　· 磁控溅射工作原理第21-22页
　　· ITO薄膜的透明导电机理第22-27页
　　　　· 导电机理第22-26页
　　　　· 可见光透射机理第26-27页
　　· ITO薄膜的沉积成膜理论第27-30页
　　　　· 溅射成膜过程第27页
　　　　· Thorton理论第27-30页
3 ITO工艺参数优化设计第30-45页
　　· 引言第30页
　　· 实验条件第30-33页
　　　　· 实验设备第30-31页
　　　　· 样品制备第31-32页
　　　　· 样品测试表征方法第32-33页
　　· 气体流量比对ITO薄膜的影响第33-36页
　　· 溅射压强对ITO薄膜的影响第36-38页
　　· 温度对ITO薄膜的影响第38-41页
　　· 功率对ITO薄膜的影响第41-45页
4 双层ITO薄膜的制备与研究第45-56页
　　· 引言第45页
　　· 能量过滤磁控溅射技术(EFDMS)介绍第45-47页
　　· 网孔大小对ITO薄膜的影响第47-49页
　　· EFDMS沉积厚度对ITO薄膜粗糙度的影响第49-54页
　　　　· 引言第49-50页
　　　　· 实验第50页
　　　　· 结果和讨论第50-54页
　　· 结论第54-56页
5 结论第56-58页
　　· 本文的主要结论第56-57页
　　· 本论文的创新之处第57页
　　· 论文需要完善之处第57-58页
参考文献第58-62页
致谢第62-63页
个人简历与硕士期间发表论文第63页

本篇论文共63页，点击这进入下载页面。
 
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