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基于无衍射光与道威棱镜的工作台多自由度误差测量方法

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基于无衍射光与道威棱镜的工作台多自由度误差测量方法
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-19页
    1.1 课题来源第9页
    1.2 研究背景、目的及意义第9-10页
    1.3 国内外研究现状第10-17页
        1.3.1 多自由度误差光学测量技术第11-15页
        1.3.2 多自由度误差传感器测量技术第15-16页
        1.3.3 测量方法总结第16-17页
    1.4 主要研究工作及内容安排第17-19页
第2章 工作台多自由度误差测量理论基础第19-36页
    2.1 无衍射光理论第19-24页
        2.1.1 无衍射光特性第19-21页
        2.1.2 无衍射光生成方法第21-22页
        2.1.3 平行光入射轴锥镜光强分布第22-24页
    2.2 无衍射光莫尔条纹理论第24-30页
        2.2.1 中心间距与莫尔条纹关系第24-27页
        2.2.2 中心间距测量第27-30页
    2.3 道威棱镜理论第30-35页
        2.3.1 道威棱镜通光特性第30-31页
        2.3.2 道威棱镜角度误差的分析第31-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第3章 多自由度测量方案设计第36-56页
    3.1 无衍射光与道威棱镜的多自由度测量系统第36-40页
        3.1.1 测量系统工作原理第36-38页
        3.1.2 测量系统硬件构成第38-40页
    3.2 多自由度误差模型第40-51页
        3.2.1 测量点1 运动误差分析第40-44页
        3.2.2 测量点2 运动误差分析第44-50页
        3.2.3 多项自由度误差分解第50-51页
    3.3 测量点中心定位第51-55页
        3.3.1 测量点1 定心第51-53页
        3.3.2 测量点2 定心第53-55页
    3.4 本章小结第55-56页
第4章 仿真与实验验证第56-68页
    4.1 测量点位移仿真第56-60页
    4.2 实验测量验证第60-67页
    4.3 实验误差来源分析第67页
    4.4 本章小结第67-68页
第5章 总结与展望第68-70页
    5.1 全文总结第68-69页
    5.2 工作展望第69-70页
参考文献第70-74页
致谢第74-75页
附录:攻读硕士学位期间取得的科研成果第75页

本篇论文共75页,点击这进入下载页面
 
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