基于光学相移的表面形貌多波长干涉技术研究

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基于光学相移的表面形貌多波长干涉技术研究

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基于光学相移的表面形貌多波长干涉技术研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
第1章引言	第9-18页
1.1 课题来源	第9页
1.2 课题研究目的及理论意义	第9-10页
1.3 国内外研究现状	第10-16页
1.3.1 非光学测量方法分类	第11页
1.3.2 光学测量方法分类	第11-16页
1.4 主要研究工作和内容安排	第16-18页
第2章光学相移的表面形貌多波长干涉测量系统分析	第18-37页
2.1 测量系统结构设计及主要器件选取	第18-23页
2.1.1 Linnik光路结构设计	第19-20页
2.1.2 相移驱动器件	第20-21页
2.1.3 白光光源的选择	第21-22页
2.1.4 滤光片选取及波长轮换装置	第22-23页
2.2 相移干涉测量原理	第23-27页
2.2.1 双波长相移干涉测量原理	第25页
2.2.2 多波长相移干涉测量原理	第25-27页
2.3 液晶空间光调制器相移驱动特性	第27-36页
2.3.1 液晶的光学特性	第27-29页
2.3.2 液晶空间光调制器结构	第29-30页
2.3.3 相位调制原理	第30-32页
2.3.4 相位调制特性测量方法	第32-34页
2.3.5 空间光调制器相位调制特性实验结果	第34-36页
2.4 本章小结	第36-37页
第3章多波长干涉测量光强控制系统设计	第37-46页
3.1 光强控制系统	第37-38页
3.2 LED驱动电路设计	第38-40页
3.2.1 放大电路	第38页
3.2.2 稳压电路	第38-40页
3.3 PID算法设计及整定过程	第40-42页
3.4 多波长光强测试与结果分析	第42-45页
3.4.1 多波长轮换调整时间	第42-43页
3.4.2 多波长干涉图样光强测定结果	第43-45页
3.5 本章小结	第45-46页
第4章光学相移的多波长干涉实验结果与分析	第46-62页
4.1 实验系统搭建及软件分析	第46-48页
4.1.1 干涉条纹采集控制	第47-48页
4.1.2 干涉条纹采集软件界面设计	第48页
4.2 系统抗干扰性	第48-50页
4.3 测量系统数据处理及实验验证	第50-60页
4.3.1 基于迭代的最小二乘相位提取算法	第50-53页
4.3.2 模拟仿真和实验验证	第53-55页
4.3.3 相位提取精度	第55-57页
4.3.4 表面形貌计算	第57-60页
4.4 误差来源分析	第60-61页
4.5 本章小结	第61-62页
第5章总结与展望	第62-64页
5.1 总结	第62-63页
5.2 展望	第63-64页
参考文献	第64-68页
致谢	第68-69页
附录1 攻读硕士学位期间取得的科研成果	第69-70页
附录2 三种波长的相位调制特性表	第70-75页

本篇论文共75页，点击这进入下载页面。

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