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基于AZO的透明导电薄膜的低温制备与性能优化
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基于AZO的透明导电薄膜的低温制备与性能优化
论文目录
致谢
第1-6页
摘要
第6-8页
Abstract
第8-10页
目录
第10-12页
第1章 绪论
第12-29页
· 透明导电氧化物薄膜(TCO)
第12-19页
· 透明导电薄膜
第12-13页
· 透明导电氧化物薄膜(TCO)的研究和发展
第13页
· TCO的种类及应用
第13-16页
· TCO的物理性质
第16-18页
· 导电性和透明性的关系
第18-19页
· 氧化锌(ZnO)透明导电氧化物
第19-23页
· ZnO的晶体结构和基本性质
第19-22页
· ZnO的本征缺陷与非故意掺杂
第22页
· ZnO薄膜的掺杂体系
第22-23页
· 铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的性质和研究现状
第23-27页
· AZO透明导电薄膜的低温制备
第24-25页
· AZO多层结构透明导电薄膜的低温制备
第25-27页
· 论文的研究动机
第27页
· 论文的研究内容
第27-29页
第2章 实验原理及设备、薄膜制备及表征
第29-43页
· 磁控溅射技术
第29-34页
· 磁控溅射原理
第29-31页
· 实验过程
第31-34页
· 薄膜生长与薄膜结构
第34-39页
· 薄膜生长概述
第34-35页
· 吸附、表面扩散与凝结
第35-38页
· ZnO的溅射生长模型
第38-39页
· 薄膜表征
第39-40页
· 薄膜厚度的测定
第39页
· 薄膜结构的测定
第39-40页
· 薄膜表面形貌和薄膜组分的测定
第40页
· 光学性能的测定
第40页
· 电学性能的测定
第40页
· 一些重要参数的计算
第40-43页
· 晶粒尺寸
第40-41页
· 薄膜平面应力
第41页
· 晶格常数
第41-42页
· 方块电阻
第42页
· 光学带宽
第42页
· 品质因子
第42-43页
第3章 Al掺杂氧化锌(AZO)薄膜结构及性能的优化
第43-62页
· 背景介绍
第43-44页
· 衬底温度的影响
第44-53页
· 衬底温度对结构性能的影响
第46-48页
· 衬底温度对光电性能的影响
第48-53页
· 本节小结
第53页
· 溅射功率的影响
第53-61页
· 溅射功率对结构性能的影响
第55-59页
· 溅射功率对光电性能的影响
第59-61页
· 本章小结
第61-62页
第4章 Ag基AZO多层薄膜的低温制备及性能优化
第62-75页
· 多层结构AZO的导电机理
第63-65页
· 多层结构导电膜的载流子
第63页
· 多层结构导电膜的电子迁移
第63-64页
· 多层薄膜并联模型
第64-65页
· 金属Ag层厚度对AZO多层薄膜性能的影响
第65-70页
· Ag层厚度对结构性能的影响
第65-66页
· Ag层厚度对光电性能的影响
第66-70页
· AZO层厚度对AZO多层薄膜性能的影响
第70-74页
· AZO层厚度对多层薄膜光电性能的影响
第70-74页
· 本章小结
第74-75页
第5章 总结与展望
第75-77页
· 全文总结
第75-76页
· 论文的不足及展望
第76-77页
参考文献
第77-80页
个人简历及在校期间所取得的科研成果
第80 页
本篇论文共
80
页,
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