SnO<sub>2</sub>薄膜的制备与性能表征

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SnO₂薄膜的制备与性能表征

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SnO₂薄膜的制备与性能表征

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-23页
· 光伏发电技术及其特点	第8-9页
· 减反射膜的光学设计	第9-10页
· 太阳能电池的发展趋势	第10-11页
· SnO_2的晶体结构和特性	第11-14页
· SnO_2薄膜的应用和制备方法	第14-22页
· 本文研究的内容和意义	第22-23页
2 薄膜生长原理以及测试方法	第23-31页
· 薄膜生长原理和薄膜动力学分析	第23-27页
· 薄膜的测试方法	第27-30页
· 本章小结	第30-31页
3 PECVD 法制备 SnO_2薄膜的实验	第31-36页
· 实验原料的选取	第31-32页
· 基片的清洗与预处理	第32页
· PECVD 制备 SnO_2薄膜实验过程	第32-34页
· 本章小结	第34-36页
4 SnO_2薄膜的性能表征与分析	第36-40页
· SnO_2薄膜的晶体结构	第36页
· SnO_2薄膜形貌的测试	第36-37页
· SnO_2薄膜化学成分分析	第37-38页
· SnO_2薄膜的可见光透过率测试	第38页
· SnO_2薄膜电性能测试	第38页
· 本章小结	第38-40页
5 实验参数对薄膜性能的影响	第40-52页
· 衬底预处理对材料薄膜生长的影响	第40页
· 晶体结构的影响	第40-43页
· 晶体形貌的影响	第43-45页
· 物理性能的影响	第45-46页
· 光学性能的影响	第46-48页
· 电学性能的影响	第48-49页
· 本章小结	第49-52页
6 全文总结	第52-53页
致谢	第53-54页
参考文献	第54-57 页

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