用脉冲激光沉积工艺在不同衬底上生长GaN薄膜的研究

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用脉冲激光沉积工艺在不同衬底上生长GaN薄膜的研究

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用脉冲激光沉积工艺在不同衬底上生长GaN薄膜的研究

论文目录
中文摘要	第1-8页
Abstract	第8-10页
第一章概述	第10-18页
· GaN 材料应用	第10-11页
· GaN 薄膜的研究进展	第11-12页
· GaN 薄膜的制备方法	第12-15页
· 异质外延 GaN 薄膜面临的问题	第15-17页
· 本论文的内容及安排	第17-18页
第二章理论模拟及实验技术	第18-32页
· 引言	第18页
· 薄膜生长动力学	第18-20页
· 吸附、迁移与成核	第18-19页
· 薄膜生长模型	第19-20页
· 脉冲激光沉积的原理与特性	第20-26页
· 脉冲激光沉积技术的原理	第20-22页
· 脉冲激光沉积技术的特性	第22-23页
· PLD 方法中影响薄膜生长的因素	第23-25页
· 脉冲激光沉积方法	第25-26页
· 高温退火过程	第26-28页
· 薄膜材料的性能表征	第28-32页
· X 射线衍射谱	第28页
· 原子力显微镜	第28-30页
· 红外吸收光谱（IR）	第30页
· 光致发光谱（PL）	第30-32页
第三章在GaAs衬底上生长GaN薄膜及对其性质的研究	第32-40页
· 砷化镓基 GaN 薄膜的研究现状	第32页
· 在砷化镓衬底上生长 GaN 薄膜的步骤	第32-33页
· 退火温度对 GaN/GaAs 薄膜的结晶质量和表面形貌的影响	第33-37页
· XRD 分析	第33-35页
· 原子力显微镜（AFM）表面分析	第35-36页
· 样品的光致发光谱（PL 谱）研究	第36-37页
· 在GaAs上生长的GaN薄膜脱层的原因	第37-40页
第四章 SiC缓冲层用于改善硅基氮化镓薄膜的质量研究	第40-48页
· 硅基 GaN 薄膜的研究现状	第40-41页
· 在硅衬底上生长 GaN 薄膜的实验步骤	第41页
· 实验结果及分析	第41-46页
· XRD 分析	第41-44页
· 原子力显微镜（AFM）分析	第44页
· 傅立叶红外吸收谱(FTIR)分析	第44-45页
· 光致发光谱（PL）分析	第45-46页
· 结论	第46-48页
第五章结论	第48-50页
· 本论文的主要研究成果	第48页
· 对今后研究工作的建议	第48-50页
参考文献	第50-54页
攻读硕士学位期间完成的论文	第54-56页
致谢	第56 页

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