物理气相沉积DLC和TiN系列超硬膜的研究 |
论文目录 | | | 摘要 | 第1-5
页 | | Abstract | 第5-7
页 | | 第一章 文献综述 | 第7-29
页 | | · 前言 | 第7
页 | | · 类金刚石薄膜(DLC) | 第7-20
页 | | · DLC的结构、性能及其应用 | 第7-10
页 | | · DLC的制备方法 | 第10-13
页 | | · DLC的表征 | 第13-19
页 | | · DLC膜的研究进展及发展方向 | 第19-20
页 | | · TiN系列超硬薄膜 | 第20-29
页 | | · (Ti，Al)N，Ti(C，N)，TiN的结构与性能 | 第21-25
页 | | · (Ti，Al)N，Ti(C,N)，TiN的制备方法 | 第25-27
页 | | · TiN系列硬质薄膜的发展方向 | 第27-29
页 | | 第二章 类金刚石C膜形貌的AFM分析 | 第29-43
页 | | · 类金刚石C膜的制备 | 第29-34
页 | | · 直流磁控溅射原理 | 第29-32
页 | | · 直流磁控溅射设备及类金刚石C膜的制备过程 | 第32-34
页 | | · 原子力显微镜(AFM)测量表面形貌 | 第34-38
页 | | · 沉积工艺对DLC膜的形貌的影响 | 第38-42
页 | | · 基体温度对薄膜表面形貌的影响 | 第38
页 | | · 溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第38-39
页 | | · 沉积气压对薄膜表面形貌的影响 | 第39
页 | | · 结果讨论 | 第39-42
页 | | · 本章小结 | 第42-43
页 | | 第三章 TiN／TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC多层硬质膜 | 第43-53
页 | | · TiN／TiAlN／TiN，TiN／TiAlN，TiN／TiNC多层膜的制备 | 第43-45
页 | | · X射线衍射分析(XRD) | 第45-49
页 | | · 扫描电镜分析(SEM) | 第49-50
页 | | · 显微硬度、拉伸实验结果及讨论 | 第50-52
页 | | · 本章小结 | 第52-53
页 | | 第四章 结论 | 第53-54
页 | | 参考文献 | 第54-58
页 |
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