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硬质合金基体/HFCVD金刚石薄膜制备及薄膜织构的研究
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硬质合金基体/HFCVD金刚石薄膜制备及薄膜织构的研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-8 页
第一章 文献综述第8-23 页
　　1．1 金刚石的性质及应用第8-11 页
　　　　1．1．1 金刚石的性质和结构第8-10 页
　　　　1．1．2 金刚石薄膜的应用第10-11 页
　　1．2 金刚石薄膜的形成机理第11-13 页
　　　　1．2．1 反应机理第11-12 页
　　　　1．2．2 低压化学气相沉积金刚石薄膜的一般条件第12-13 页
　　1．3 金刚石的形核第13-16 页
　　　　1．3．1 沉积参数对金刚石形核的影响第14-15 页
　　　　1．3．2 提高金刚石形核的方法第15-16 页
　　1．4 金刚石的生长第16-17 页
　　　　1．4．1 基体温度第16 页
　　　　1．4．2 碳源气体的浓度第16-17 页
　　1．5 金刚石涂层刀具的研究进展第17-21 页
　　　　1．5．1 超硬材料刀具的开发与应用第17-18 页
　　　　1．5．2 涂层刀具的发展第18-19 页
　　　　1．5．3 CVD金刚石膜在刀具上的应用第19-20 页
　　　　1．5．4 硬质合金金刚石涂层刀具的研究进展第20-21 页
　　1．6 研究的意义和内容第21-23 页
第二章 硬质合金基体/CVD金刚石薄膜的制备第23-29 页
　　2．1 引言第23 页
　　2．2 实验装置第23-25 页
　　　　2．2．1 热丝 CVD设备装置第23-24 页
　　　　2．2．2 灯丝选择和结构设计第24-25 页
　　2．3 实验材料及样品预处理第25-26 页
　　2．4 实验过程和参数制定第26-27 页
　　2．5 样品检测第27-29 页
　　　　2．5．1 X射线衍射分析第27-28 页
　　　　2．5．2 表面形貌分析第28 页
　　　　2．5．3 薄膜附着性能的评估第28 页
　　　　2．5．4 成分分析第28-29 页
第三章 生长条件对HFCVD金刚石多晶薄膜的影响第29-48 页
　　3．1 硬质合金YG6基体处理第29-31 页
　　　　3．1．1 预处理后基体表面分析第29-30 页
　　　　3．1．2 金刚石膜沉积工艺第30-31 页
　　3．2 甲烷浓度对金刚石薄膜的影响第31-36 页
　　　　3．2．1 金刚石薄膜形貌第31-32 页
　　　　3．2．2 甲烷浓度对薄膜织构的影响第32-36 页
　　3．3 基体温度对金刚石薄膜的影响第36-39 页
　　　　3．3．1 不同基体温度对表面形貌的影响第36-38 页
　　　　3．3．2 基体温度对金刚石薄膜织构的影响第38-39 页
　　3．4 沉积气压对金刚石薄膜的影响第39-41 页
　　3．5 金刚石薄膜织构形成的机理分析第41-47 页
　　3．6 本章小结第47-48 页
第四章 生长条件对金刚石/硬质合金膜基结合强度影响第48-58 页
　　4．1 薄膜的膜基结合强度测试与表征第48-52 页
　　　　4．1．1 膜基结合强度模型第49 页
　　　　4．1．2 薄膜的膜基结合强度测量第49-52 页
　　4．2 甲烷浓度对金刚石薄膜结合强度的影响第52-54 页
　　4．3 沉积气压对金刚石薄膜结合强度的影响第54-55 页
　　4．4 衬底温度对金刚石薄膜结合强度的影响第55-57 页
　　4．5 本章小结第57-58 页
第五章 结论第58-59 页
参考文献第59-65 页
致谢第65-66 页
在学期间发表的学术论文第66 页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。
 
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