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Mn掺杂氧化锌薄膜的制备与光学特性的研究
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Mn掺杂氧化锌薄膜的制备与光学特性的研究
论文目录
摘要
第1-4页
Abstract
第4-6页
目录
第6-9页
第一章 绪论
第9-18页
· 引言
第9-10页
· ZnO磁性掺杂的研究和理论基础
第10-13页
· 自旋电子学的概念
第10页
· ZnO的结构与特性及研究现状
第10-12页
· 稀磁半导体
第12页
· 稀磁半导体材料磁性来源机制
第12-13页
· 研究课题的选取
第13-14页
· Mn掺杂ZnO的研究进展
第14-17页
· 本论文的研究内容及结构
第17-18页
第二章 样品制备方法及表征手段
第18-31页
· 实验设备及原理
第18-20页
· 薄膜的制备
第20-23页
· 基片的清洗和选择
第20页
· 靶材的制备
第20-21页
· 薄膜的制备
第21-23页
· 样品的分析测试手段
第23-30页
· X射线衍射仪
第23-25页
· X射线光电子仪
第25-26页
· 原子力显微镜
第26-27页
2.3.4紫 外分光光度计
第27-29页
· 分子荧光光度计
第29-30页
· 本章小结
第30-31页
第三章 Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的结构表征和光学性能检测
第31-39页
· Zn1-xMnxO薄膜的晶格结构
第31-34页
· X射线衍射谱
第31-32页
· X射线光电子能谱
第32-34页
· Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的表面形貌分析
第34页
· Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的透射谱研究
第34-35页
· Zn_(1-x)Mn_xO薄膜吸收谱和光学带隙及其简化计算
第35-37页
· 薄膜光学带隙的精确分析
第35-36页
· 薄膜光学带隙的简化计算
第36-37页
· Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的发光性质研究
第37-38页
· 紫光发射
第37页
· 蓝光发射
第37-38页
· 本章小结
第38-39页
第四章 制备条件对Zn_(1-x)Mn_xO薄膜性质的影响
第39-57页
· 衬底温度对薄膜性质的影响
第39-43页
· 表面形貌
第39-40页
· X射线衍射
第40-41页
· 透射谱
第41-42页
· 光致发光谱
第42-43页
· 溅射功率对薄膜性质的影响
第43-47页
· 表面形貌
第44-45页
· X射线衍射谱
第45页
· 透过谱
第45-46页
· 光致发光谱
第46-47页
· 工作气压对薄膜性质的影响
第47-51页
· 表面形貌
第48-49页
· X射线衍射谱
第49页
· 透过谱
第49-50页
· 光致发光谱
第50-51页
· 氧分压对薄膜性质的影响
第51-55页
· X射线衍射分析
第52页
· 原子力显微图分析
第52-53页
· 吸收及透射谱
第53-55页
· 本章小结
第55-57页
第五章 结论与展望
第57-59页
· 结论
第57-58页
· 展望
第58-59页
参考文献
第59-65页
致谢
第65-66页
攻读硕士学位期间主要的研究成果
第66 页
本篇论文共
66
页,
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