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双CGH检测凸非球面研究
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双CGH检测凸非球面研究
论文目录
 
中文摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-19页
　　· 研究背景第9-10页
　　· 非球面基本理论及应用第10-14页
　　　　· 非球面数学表示第10-11页
　　　　· 非球面度第11-13页
　　　　· 非球面分类及应用第13-14页
　　· 凸非球面检测方法第14-18页
　　　　· 轮廓测量法第14-15页
　　　　· 无像差点法第15-16页
　　　　· 球面透镜补偿法第16-17页
　　　　· 计算全息法(CGH)第17-18页
　　· 论文的结构及主要工作第18-19页
第二章 CGH 检测非球面第19-29页
　　· CGH 概述第19-21页
　　· CGH 检测非球面发展及国内外现状第21-27页
　　　　· CGH 检测法发展第21-26页
　　　　· 国内现状第26-27页
　　· 本文研究的检测方法第27-28页
　　· 本章小结第28-29页
第三章 双 CGH 检测凸非球面系统设计第29-36页
　　· 各部件的设计原则第29-30页
　　　　· 投影镜设计第29页
　　　　· 照明系统设计第29-30页
　　　　· CGH 设计第30页
　　· 实际非球面检测系统设计第30-33页
　　· CGH 最小刻划间距计算第33-34页
　　　　· 算法思想第33页
　　　　· 程序第33-34页
　　· 双 CGH 检测自由曲面设计第34-35页
　　　　· 实例面形描述第34页
　　　　· 设计结果第34-35页
　　· 本章小结第35-36页
第四章 系统误差分析第36-45页
　　· CGH 误差第36-40页
　　　　· CGH 制作误差第36-39页
　　　　· CGH 装调误差第39-40页
　　· 投影镜和照明系统误差第40-42页
　　· 入射光的倾斜度误差对测量结果的影响第42页
　　· 入射光的准直性能对测量结果的影响第42-44页
　　　　· 会聚光照射 CGH第42-43页
　　　　· 发散光照射 CGH第43-44页
　　· 本章小结第44-45页
第五章 CGH 对准研究第45-61页
　　· 莫尔条纹应用第45-46页
　　· 圆光栅莫尔条纹用于 CGH 对准方案第46-54页
　　　　· 圆光栅莫尔条纹产生机理第46-51页
　　　　· 理论模拟第51-54页
　　· 圆光栅间距及倾斜入射平行光对莫尔条纹的影响分析第54-58页
　　　　· 两圆光栅间距对莫尔条纹的影响第55-57页
　　　　· 倾斜入射光对莫尔条纹的影响第57-58页
　　· 实验第58-60页
　　· 本章小结第60-61页
第六章 总结与展望第61-63页
参考文献第63-68页
攻读硕士学位期间公开发表的论文第68页
参加学术会议第68-69页
致谢第69-70页

本篇论文共70页，点击这进入下载页面。
 
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