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基于微液滴介质的微型静电式振动发电机关键技术研究

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基于微液滴介质的微型静电式振动发电机关键技术研究
论文目录
 
中文摘要第1-4 页
英文摘要第4-8 页
1 绪论第8-15 页
  · 国内外研究现状第8-14 页
  · 论文研究的目的以及主要研究内容第14 页
  · 本章小结第14-15 页
2 基于微液滴介质的微型静电式振动发电机设计第15-36 页
  2 1 基于微液滴介质的微型静电式振动发电机结构与工作原理第15-19 页
  · 微液滴材料的选择第19-20 页
  · 微液滴在微腔体中的动力学特性分析第20-28 页
    · 微液滴在微腔体中的动力学模型第20-23 页
    · 毛细现象对微液滴运动的影响第23-25 页
    · 微液滴在微腔体中的动力学分析第25-28 页
  · 驻极体电场分析第28-30 页
  · 系统级仿真第30-35 页
  · 本章小结第35-36 页
3 微型静电式振动发电机宏尺寸原理样机的研制第36-50 页
  · Teflon 驻极体制备第36-42 页
    · 电晕充电实验装置第36-37 页
    · 驻极体极化方法研究第37-42 页
  · 宏尺寸原理样机研制第42-44 页
  · 宏尺寸原理样机性能测试与分析第44-49 页
  · 本章小结第49-50 页
4 基于 MEMS 技术的微型静电式振动发电机工艺设计和版图设计第50-56 页
  · 表面疏水处理第50-51 页
  · 微型静电式振动发电机制备工艺第51-55 页
    · 微腔体工艺流程第51-53 页
    · 驻极体工艺流程第53 页
    · 微组装工艺流程第53-54 页
    · 版图设计第54-55 页
  · 本章小结第55-56 页
5 总结与展望第56-57 页
  · 总结第56 页
  · 后续研究工作的展望第56-57 页
致谢第57-58 页
参考文献第58-62 页
附录第62 页
  作者在攻读硕士学位期间发表的论文第62页

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