基于飞秒激光刻蚀的黑硅太阳电池的制备及其性能优化

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基于飞秒激光刻蚀的黑硅太阳电池的制备及其性能优化

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基于飞秒激光刻蚀的黑硅太阳电池的制备及其性能优化

论文目录
中文摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章绪论	第11-21页
1.1 太阳电池发展简介	第11-13页
1.2 先进黑硅材料的发展	第13-17页
1.3 黑硅太阳电池的研究意义及其研究现状	第17-20页
1.4 本论文的研究内容简述	第20-21页
第二章黑硅材料的制备及特性	第21-25页
2.1 黑硅材料的制备系统	第21-22页
2.2 黑硅材料的制备工艺	第22-25页
第三章黑硅太阳电池的结构设计	第25-30页
3.1 传统太阳电池工作原理简介	第25-26页
3.2 黑硅太阳电池的结构设计	第26-30页
第四章黑硅太阳电池的制备与工艺优化	第30-48页
4.1 黑硅太阳电池的制备流程简介	第30-31页
4.2 激光刻蚀功率的优化	第31页
4.3 不同去缺陷处理方法的比较	第31-39页
4.3.1 去缺陷处理的意义	第31-33页
4.3.2 表面耦合等离子体刻蚀法	第33-34页
4.3.3 化学腐蚀方案设计	第34页
4.3.4 各向异性性腐蚀法	第34-36页
4.3.5 各向同性腐蚀法	第36-37页
4.3.6 结果分析	第37-39页
4.4 各向异性腐蚀时间的优化	第39-43页
4.4.1 正逆倒金字塔陷光结构的获得	第39-41页
4.4.2 去缺陷效果的检验	第41-43页
4.5 铝背场技术的加入	第43-45页
4.6 窗口层的选择	第45-48页
4.6.1 采用ITO作为窗口层	第45-46页
4.6.2 采用氮化硅作为窗口层	第46-48页
第五章黑硅电池的测试结果分析	第48-58页
5.1 陷光特性	第48-51页
5.2 亮场I-V特性	第51-54页
5.3 量子效率特性	第54-55页
5.4 本文制备的黑硅太阳电池与其它太阳电池的性能对比	第55-58页
5.4.1 与其它小组制备的黑硅电池对比	第55-56页
5.4.2 与常规碱制绒电池对比	第56-58页
第六章总结与展望	第58-60页
6.1 总结	第58页
6.2 展望	第58-60页
参考文献	第60-64页
在读期间公开发表的论文和承担科研项目及取得成果	第64-65页
致谢	第65页

本篇论文共65页，点击这进入下载页面。

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