纯相位光学防伪掩膜设计与优化研究

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纯相位光学防伪掩膜设计与优化研究

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纯相位光学防伪掩膜设计与优化研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第1章绪论	第10-16页
· 课题的研究背景及意义	第10-11页
· 国内外研究现状综述	第11-14页
· 本文研究的主要内容	第14-16页
第2章纯相位光学防伪掩膜的设计基础	第16-24页
· 标量衍射理论	第16-21页
· 惠更斯-菲涅耳原理	第16-17页
· 基尔霍夫衍射公式	第17-19页
· 两种基本的衍射	第19-20页
· 基于DOE的衍射积分模型	第20-21页
· 迭代相位恢复算法	第21-23页
· 振幅和相位恢复问题	第21-23页
· 迭代算法	第23页
· 本章小结	第23-24页
第3章纯相位光学防伪掩膜的设计与制作	第24-35页
· 纯相位光学防伪掩膜的特点	第24-25页
· 传统纯相位光学防伪掩膜设计方法	第25-34页
· GS算法	第26-30页
· POCS算法简介	第30-34页
· 本章小结	第34-35页
第4章协同进化遗传算法	第35-48页
· 传统的遗传算法	第35-39页
· 遗传算法的基本概念	第35-36页
· 遗传算法的基本原理	第36-37页
· 遗传算法的仿真结果及分析	第37-39页
· GA-GS算法	第39-42页
· GA-GS算法的基本原理	第39-40页
· GA-GS算法的仿真结果及分析	第40-42页
· 基于遗传算法改进的CGA-GS算法	第42-44页
· 计算机仿真结果及分析	第44-47页
· 本章小结	第47-48页
第5章改进的模拟退火算法	第48-61页
· 传统的模拟退火算法	第48-52页
· 模拟退火算法的基本概念	第48-50页
· 模拟算法的基本原理	第50-51页
· 模拟退火算法的仿真结果及分析	第51-52页
· SA-GS算法	第52-55页
· SA-GS算法的基本原理	第52-54页
· SA-GS算法的仿真结果及分析	第54-55页
· 改进的模拟退火算法	第55-56页
· 计算机仿真结果及分析	第56-59页
· 本章小结	第59-61页
结论	第61-62页
参考文献	第62-65页
攻读学位期间公开发表论文	第65-66页
致谢	第66-67页
作者简介	第67页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

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