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含酰胺基稀土(La/Gd)配合物的合成与表征以及制备高K薄膜材料和催化ε-己内酯开环聚合的研究

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含酰胺基稀土(La/Gd)配合物的合成与表征以及制备高K薄膜材料和催化ε-己内酯开环聚合的研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-14页
注释表第14-16页
第一章 绪论第16-23页
  · 引言第16-17页
    · 微电子发展状态与趋势第16-17页
  · 高 K 材料的发展概况第17-19页
    · 晶体场效应管简介第17-18页
    · 高 K 材料第18-19页
  · 薄膜制备技术第19-20页
    · 化学气相沉积第20页
    · 原子层沉积第20页
  · 稀土氧化物的 ALD 前驱体的研究进展第20-21页
  · 本文研究的内容第21-23页
第二章 酰胺基稀土配合物的合成与表征以及制备高K薄膜材料的研究第23-56页
  · 引言第23-24页
  · 实验部分第24-33页
    · 实验试剂第24-25页
    · 实验仪器第25-26页
    · 溶剂和试剂的处理第26页
    · 分析和测试第26-27页
      · 稀土元素的含量分析第26页
      · C、H 和 N 的含量分析第26页
      · 熔点测定第26页
      · ~1H NMR 和~(13)C{H} NMR 谱分析第26-27页
      · 晶体结构测定第27页
    · 原料的合成第27-28页
      · 无水三氯化镧/三氯化钆的制备第27页
      · Li[N(SiMe_3)_2]的制备第27页
      · La[N(SiMe_3)_2]_3的合成第27页
      · Gd[N(SiMe_3)_2]_3的合成第27-28页
    · 酰胺以及酰胺锂盐的合成第28-31页
      · (CH_3)_2CHCOCl 的合成第28页
      · (CH_3)_3COCl 的合成第28页
      · ~tBu(HNCO)Ph (1a)的合成第28-29页
      · ~iBu(HNCO)Ph (1b)的合成第29页
      · Cy(HNCO)~iPr (1c)的合成第29-30页
      · ~tBu(HNCO)~tBu (1d)的合成第30页
      · Li[~iBu(NCO)Ph] (1b’)的合成第30-31页
    · 含酰胺基的稀土金属配合物的合成第31-33页
      · LaLi[N(SiMe_3)_2]_3[~iBu(NCO)Ph]·3THF (2a)的合成第31页
      · La_2[Cy(NCO)~iPr]_6[Cy(HNCO)~iPr] (2b)的合成第31页
      · Gd_2[Cy(NCO)~iPr]_6(2c)的合成第31-32页
      · Gd_3O[N(SiMe_3)_2]_3[~tBu(NCO)Ph]_4(2d)的合成第32页
      · Gd_2[~tBu(NCO)Ph]_6[~tBu(HNCO)Ph] (2e)的合成第32页
      · Gd[~tBu(NCO)~tBu]_3·2THF (2f)的合成第32页
      · La[~tBu(NCO)~tBu]_3·2THF (2g)的合成第32-33页
    · MOCVD 薄膜生长实验第33页
  · 结果与讨论第33-56页
    · 实验方案的选择第33-36页
    · 测试结果分析第36-56页
      · 稀土元素的含量分析第36-37页
      · X-射线单晶衍射第37-53页
      · 热重分析(TG)第53-54页
      · MOCVD 薄膜测试分析第54-56页
第三章 混配型稀土金属配合物的合成与表征及催化Ε-己内酯开环聚合的研究第56-89页
  · 引言第56-57页
  · 实验部分第57-63页
    · 实验试剂第57-58页
    · 配体及反应前体的合成第58-59页
      · 酰胺配体的合成第58页
      · 反应前体的合成第58-59页
    · 配合物的合成第59-62页
      · 配合物 La[N(SiMet_3)_2]_2[~tBu(NCO)Ph] (1)的合成第59页
      · 配合物 La[N(SiMei_3)_2]_2[~iPr(NCO)Ph] (2)的合成第59-60页
      · 配合物 La[N(SiMe_3)_2]_2[~iPr(NCO)~iPr] (3)的合成第60页
      · 配合物 La[N(SiMe_3)_2]_2[~tBu(NCO)~iPr]·THF (4)的合成第60页
      · 配合物 La[N(SiMet_3)_2][~tBu(NCO)~tBu]_2(5)的合成第60-61页
      · 配合物 La[N(SiMei_3)_2][~iPr(NCO)~tBu]_2(6)的合成第61页
      · 配合物 La[N(SiMe_3)_2][~iPr(NCO)~iPr]_2(7)的合成第61页
      · 配合物 Lat_2[N(SiMe_3)_2]_2[~tBu(NCO)~iPr]_3[O(SiMe_3)] (8)的合成第61-62页
      · 配合物 Gd[N(SiMei_3)_2][~iPr(NCO)~iPr]_2(9)的合成第62页
      · 配合物 Gd[N(SiMe_3)_2][~iPr(NCO)Ph]_2(10)的合成第62页
    · 聚ε-己内酯的合成第62-63页
  · 结果与讨论第63-89页
    · 合成方法第63页
      · 配合物的合成第63页
    · 稀土金属有机配合物的表征第63-89页
      · 配合物的元素含量分析第63-64页
      · 核磁共振第64-71页
      · 热重分析第71页
      · X-射线单晶衍射第71-86页
      · 聚ε-己内酯的合成第86-89页
第四章 总结与展望第89-91页
  · 总结第89-90页
  · 展望第90-91页
参考文献第91-98页
致谢第98-99页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第99 页

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