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电火花电解复合切割硅片的表面形貌及反射特性研究
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电火花电解复合切割硅片的表面形貌及反射特性研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
ABSTRACT第5-16 页
第一章 绪论第16-25 页
　　· 能源现状与太阳能利用第16-17 页
　　· 晶硅太阳能电池第17-21 页
　　　　· 晶硅太阳能现状第17-19 页
　　　　· 晶硅太阳能电池基本原理第19-20 页
　　　　· 晶硅太阳能电池生产工艺第20-21 页
　　　　· 晶硅太阳能电池的瓶颈第21 页
　　· 硅片切割技术第21-24 页
　　　　· 外圆切割第21 页
　　　　· 内圆切割第21-22 页
　　　　· 线锯切割第22-23 页
　　　　· 电火花线切割第23-24 页
　　· 本课题的研究意义、创新点和研究内容第24-25 页
　　　　· 研究意义第24 页
　　　　· 创新点第24 页
　　　　· 研究内容第24-25 页
第二章 电火花电解复合切割的机理探讨第25-41 页
　　· 复合加工技术的介绍第25-28 页
　　　　· 化学—机械复合加工第25-26 页
　　　　· 切削复合加工第26-27 页
　　　　· 磨削复合加工第27 页
　　　　· 放电复合加工第27-28 页
　　· 电火花电解复合切割的工作原理第28-33 页
　　　　· 电火花加工和电火花线切割基本原理第28-29 页
　　　　· 电解加工的工作原理第29-31 页
　　　　· 电火花电解复合切割硅的基本原理第31-33 页
　　· 电火花电解复合切割硅的基本物理过程分析第33-40 页
　　　　· 复合切割电场分析第33-34 页
　　　　· 复合切割电场的影响因素分析第34-36 页
　　　　· 复合切割硅的温度场分析第36-39 页
　　　　· 复合切割硅蚀除凹坑半径、深度的影响因素分析第39-40 页
　　· 小结第40-41 页
第三章 电火花电解复合切割硅片表面形貌分析第41-55 页
　　· 硅的火花放电探索试验第41-43 页
　　　　· 硅的电阻率特性第41-42 页
　　　　· 不同电阻率硅的火花放电探索第42-43 页
　　· 硅的电火花电解复合切割试验第43-46 页
　　　　· 试验条件第43-44 页
　　　　· 切割试验第44 页
　　　　· 切割效率第44-45 页
　　　　· 切缝宽度第45-46 页
　　· 复合切割硅片表面质量影响因素分析第46-49 页
　　　　· 加工方法对硅片表面的影响第47 页
　　　　· 脉宽对硅片表面粗糙度的影响第47-48 页
　　　　· 脉间对硅片表面粗糙度的影响第48 页
　　　　· 进给速度对硅片表面粗糙度的影响第48-49 页
　　· 复合切割硅片表面微观形貌及组织结构第49-51 页
　　　　· 硅片表面微观形貌第49-50 页
　　　　· 硅片组织结构变化第50 页
　　　　· 硅片表面成分分析第50-51 页
　　· 复合切割硅片表面分形特性研究第51-54 页
　　　　· 分形理论第51-52 页
　　　　· 分形计算方法第52-53 页
　　　　· 分形计算第53-54 页
　　· 小结第54-55 页
第四章 减反射原理及不同微结构减反射特性分析第55-66 页
　　· 硅材料的光学特性第55-58 页
　　　　· 光在硅片上的反射和折射第55-57 页
　　　　· 光在硅材料上的吸收第57-58 页
　　· 减反射技术第58-59 页
　　　　· 陷光结构第58 页
　　　　· 减反射技术第58-59 页
　　· 不同微结构减反射特性分析第59-65 页
　　　　· 倒金字塔绒面结构减反射理论分析第59-61 页
　　　　· 凹坑绒面减反射理论分析第61-62 页
　　　　· 薄膜绒面减反射理论分析第62-64 页
　　　　· 不同微结构对光吸收的影响第64-65 页
　　· 小结第65-66 页
第五章 电火花电解复合切割硅片制绒一体化探讨第66-71 页
　　· 复合切割硅片表面反射率测试第66-68 页
　　　　· 脉宽对硅片表面反射率的影响第66-67 页
　　　　· 占空比对硅片表面反射率的影响第67 页
　　　　· 不同脉宽脉间复合切割硅片的反射率测试第67-68 页
　　· 复合切割制绒一体化探讨第68-70 页
　　　　· 抛光和线切割硅片反射率测试第68 页
　　　　· 晶硅太阳能电池绒面反射率测试第68-69 页
　　　　· 复合切割制绒一体化探讨第69-70 页
　　· 小结第70-71 页
第六章 总结与展望第71-73 页
　　· 论文完成的主要工作第71-72 页
　　· 后续研究工作展望第72-73 页
参考文献第73-76 页
致谢第76-77 页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第77 页

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