白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究

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白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究

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白光扫描干涉法测量三维表面形貌的研究

论文目录
1 绪论	第1-8 页
· 本课题的研究背景	第6-7 页
· 主要任务	第7-8 页
2 表面形貌测量方法及其原理	第8-14 页
· 触针法	第8 页
· 光切法	第8-9 页
· 光斑法	第9-10 页
· 光纤传感法	第10 页
· 显微干涉法	第10-11 页
· 扫描电子显微镜	第11-12 页
· 扫描隧道显微镜	第12 页
· 原子力显微镜	第12-13 页
· 本章小结	第13-14 页
3 显微干涉法测试原理以及干涉显微镜的发展现状	第14-26 页
· 双光路干涉显微镜和测试原理	第14-21 页
· 双光路干涉显微镜	第14-16 页
· 移相型显微干涉(PSMI)原理	第16-17 页
· 白光垂直扫描干涉(VSI)原理	第17-20 页
· VSI和PSMI的组合原理	第20-21 页
· 干涉条纹频域分析(FDA)原理	第21 页
· 共光路干涉显微镜和测试原理	第21-24 页
· 双焦干涉显微镜及其测试原理	第21-23 页
· 微分干涉显微镜及其测试原理	第23-24 页
· 本章小结	第24-26 页
4 白光显微干涉傅立叶频域分析(FDA)原理	第26-45 页
· 原理	第26-27 页
· 原理仿真	第27-41 页
· 仿真方法	第27-30 页
· 仿真方法的比较	第30-40 页
· 三维表面的仿真计算	第40-41 页
· 频域分析法误差分析	第41-44 页
· PZT步进间隔标定误差分析	第42-43 页
· PZT的非线性误差分析	第43-44 页
· 本章小结	第44-45 页
5 实验数据的采集与处理	第45-61 页
· 实验装置	第45-46 页
· 压电陶瓷(PZT)步进间隔的标定	第46-51 页
· 压电陶瓷电压与伸长量关系的测量原理	第46-50 页
· 利用白光干涉计算PZT步进间隔	第50-51 页
· 实验数据的采集与处理	第51-60 页
· PZT的标定	第51-55 页
· 三维表面的计算	第55-60 页
· 本章小结	第60-61 页
结论	第61-62 页
致谢	第62-63 页
参考文献	第63-64 页

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