TiNi形状记忆合金薄膜生长行为及显微结构的分析

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TiNi形状记忆合金薄膜生长行为及显微结构的分析

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TiNi形状记忆合金薄膜生长行为及显微结构的分析

论文目录
内容提要	第1-7 页
第一章绪论	第7-25 页
第一节形状记忆合金简介	第7-9 页
· 形状记忆合金诞生	第7-8 页
· 形状记忆合金的应用	第8-9 页
· 高科技展望	第9 页
第二节形状记忆效应的基本原理	第9-12 页
· 形状记忆效应	第9-10 页
· 热弹性马氏体	第10-11 页
· 形状记忆效应本质	第11-12 页
第三节 TiNi形状记忆合金薄膜的研究现状	第12-23 页
· 形状记忆合金薄膜的制备	第12-15 页
· 薄膜生长理论	第15-18 页
· TiNi 合金的相结构	第18-22 页
· TiNi 薄膜的相变行为	第22-23 页
第四节选题意义及研究内容	第23-25 页
第二章磁控溅射TiNi薄膜及表征方法	第25-36 页
第一节 TiNi薄膜的制备及热处理工艺	第25-30 页
· 磁控溅射的基本原理	第25-29 页
· 薄膜的制备及处理过程	第29 页
· 非晶薄膜的热处理工艺	第29-30 页
第二节 TiNi薄膜的表征方法	第30-36 页
· 薄膜表面形貌表征	第30-31 页
· X 射线衍射（XRD）方法	第31-34 页
· 透射电子显微镜	第34-35 页
· 纳米压痕仪	第35-36 页
第三章 TiNi合金薄膜的生长	第36-53 页
第一节引言	第36 页
第二节 TiNi薄膜的生长过程	第36-44 页
· TiNi 薄膜的生长	第36-42 页
· 归一化温度对薄膜生长的影响	第42-44 页
第三节溅射参数和热处理条件对TiNi薄膜表面形貌的影响	第44-51 页
· 工作压强对TiNi 薄膜表面形貌的影响	第44-46 页
· 溅射功率对TiNi 薄膜表面形貌的影响	第46-49 页
· 退火条件对TiNi 薄膜表面形貌的影响	第49-51 页
第四节本章小结	第51-53 页
第四章 TiNi合金薄膜的微观结构	第53-74 页
第一节引言	第53 页
第二节实验过程及分析	第53-73 页
· 薄膜厚度的测量	第53-54 页
· 薄膜晶化过程	第54-61 页
· 不同退火条件对薄膜结构的影响	第61-66 页
· Ti_3Ni_4相的转变	第66-69 页
· 退火条件对薄膜力学性能的影响	第69-73 页
第三节本章小结	第73-74 页
第五章结论及展望	第74-76 页
参考文献	第76-83 页
致谢	第83-84 页
中文摘要	第84-87 页
Abstract	第87-90 页

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