自支撑AlN薄膜的制备及其性质研究

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自支撑AlN薄膜的制备及其性质研究

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自支撑AlN薄膜的制备及其性质研究

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-12页
符号对照表	第12-13页
缩略语对照表	第13-16页
第一章绪论	第16-26页
1.1 柔性电子器件	第16-17页
1.2 Si基柔性电子器件	第17-19页
1.3 Ⅲ-Ⅴ族第三代半导体材料	第19-21页
1.4 AlN薄膜与器件应用	第21-23页
1.5 自支撑AlN薄膜的研究进展	第23-24页
1.6 本文研究的主要内容	第24-26页
第二章 AlN薄膜的生长及表征	第26-38页
2.1 AlN薄膜的制备	第26-28页
2.1.1 反应磁控溅射	第26页
2.1.2 金属有机化学气相沉积	第26-27页
2.1.3 脉冲激光沉积	第27页
2.1.4 分子束外延	第27-28页
2.2 PLD原理和结构介绍	第28-31页
2.2.1 PLD技术的原理	第28-29页
2.2.2 PLD系统的结构	第29-31页
2.3 AlN薄膜的表征	第31-35页
2.3.1 X射线衍射	第31-32页
2.3.2 原子力显微镜	第32-33页
2.3.3 X射线光电子能谱分析	第33-34页
2.3.4 椭圆偏振光谱仪	第34页
2.3.5 扫描电子显微镜	第34-35页
2.3.6 透射电子显微镜	第35页
2.3.7 分光光度计	第35页
2.4 本章小结	第35-38页
第三章 PLD条件对生长AlN薄膜的影响	第38-54页
3.1 不同条件对AlN薄膜的影响	第38-42页
3.1.1 衬底温度对制备AlN薄膜的影响	第38-39页
3.1.2 腔体气压对制备AlN薄膜的影响	第39-41页
3.1.3 激光能量对制备AlN薄膜的影响	第41-42页
3.2 衬底和缓冲层对于AlN薄膜的影响	第42-48页
3.3 缓冲层上AlN薄膜的其它表征结果	第48-53页
3.3.1 缓冲层上AlN薄膜的XPS结果	第48-49页
3.3.2 缓冲层上AlN薄膜的椭偏仪结果	第49-51页
3.3.3 缓冲层上AlN薄膜的SEM结果	第51-52页
3.3.4 缓冲层上AlN薄膜的TEM结果	第52-53页
3.4 本章小结	第53-54页
第四章自支撑AlN薄膜的制备及性能	第54-64页
4.1 自支撑AlN薄膜的制备	第54-58页
4.2 自支撑AlN薄膜的光学性质	第58-60页
4.3 自支撑AlN薄膜的光电性	第60-61页
4.4 自支撑AlN薄膜的压电性质	第61-63页
4.5 本章小结	第63-64页
第五章总结与展望	第64-66页
5.1 总结	第64-65页
5.2 展望	第65-66页
参考文献	第66-72页
致谢	第72-74页
作者简介	第74-75页

本篇论文共75页，点击这进入下载页面。

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