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Ag薄膜表面粗糙度的研究
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Ag薄膜表面粗糙度的研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-10页
1 绪论
第10-18页
· 研究背景
第10-11页
· Ag膜的表面等离子体(SPP)效应
第10页
· 突破衍射极限的技术-----超分辨技术
第10-11页
· Ag膜的表面等离子体(SPP)效应-----超透镜
第11页
· Ag膜表面研究的国内外现状分析
第11-12页
· 薄膜制备方法
第12-14页
· 磁控溅射
第12-13页
· 电阻蒸发
第13页
· 电子束蒸发
第13-14页
· 薄膜表征
第14-17页
· 薄膜表面形貌
第14-16页
· 薄膜厚度测量
第16-17页
· 薄膜光学性质
第17页
· 本论文主要研究内容及创新点
第17-18页
2 理论模拟Ag层粗糙度对超分辨光刻成像的影响
第18-23页
引言
第18-19页
· 超分辨结构模型
第19-20页
· 数值模拟结果
第20-23页
· 银粗糙度对成像质量对比度的影响
第20页
· 银粗糙度对成像质量电场强度分布的影响
第20-23页
3 磁控溅射制备Ag膜及其性质的研究
第23-36页
· 磁控溅射制备Ag膜
第23-26页
· 基片清洗
第23页
· 实验过程
第23-26页
· Ag薄膜表征
第26-27页
· Ag薄膜厚度测量
第26页
· Ag薄膜表面形貌及粗糙度
第26-27页
· 结果分析
第27-35页
· 溅射气压对薄膜沉积速率的影响
第27-28页
· 溅射功率对薄膜沉积速率的影响
第28页
· 溅射气压对薄膜表面形貌及粗糙度的影响
第28-32页
· 溅射功率对薄膜表面形貌及粗糙度的影响
第32-35页
· 本章小结
第35-36页
4 加入种子层(Cu)制备的Ag膜
第36-40页
· 引言
第36页
· 真空蒸发制备Ag膜和Cu:Ag膜
第36-37页
· 薄膜表面形貌,
第37-38页
· 结果与讨论
第38-39页
· 本章小结
第39-40页
5 总结与展望
第40-42页
· 本文工作总结
第40页
· 展望
第40-42页
参考文献
第42-47页
致谢
第47-48页
在校期间的科研成果
第48页
本篇论文共
48
页,
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。
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