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Ag薄膜表面粗糙度的研究

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Ag薄膜表面粗糙度的研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-18页
  · 研究背景第10-11页
    · Ag膜的表面等离子体(SPP)效应第10页
    · 突破衍射极限的技术-----超分辨技术第10-11页
    · Ag膜的表面等离子体(SPP)效应-----超透镜第11页
  · Ag膜表面研究的国内外现状分析第11-12页
  · 薄膜制备方法第12-14页
    · 磁控溅射第12-13页
    · 电阻蒸发第13页
    · 电子束蒸发第13-14页
  · 薄膜表征第14-17页
    · 薄膜表面形貌第14-16页
    · 薄膜厚度测量第16-17页
    · 薄膜光学性质第17页
  · 本论文主要研究内容及创新点第17-18页
2 理论模拟Ag层粗糙度对超分辨光刻成像的影响第18-23页
  引言第18-19页
  · 超分辨结构模型第19-20页
  · 数值模拟结果第20-23页
    · 银粗糙度对成像质量对比度的影响第20页
    · 银粗糙度对成像质量电场强度分布的影响第20-23页
3 磁控溅射制备Ag膜及其性质的研究第23-36页
  · 磁控溅射制备Ag膜第23-26页
    · 基片清洗第23页
    · 实验过程第23-26页
  · Ag薄膜表征第26-27页
    · Ag薄膜厚度测量第26页
    · Ag薄膜表面形貌及粗糙度第26-27页
  · 结果分析第27-35页
    · 溅射气压对薄膜沉积速率的影响第27-28页
    · 溅射功率对薄膜沉积速率的影响第28页
    · 溅射气压对薄膜表面形貌及粗糙度的影响第28-32页
    · 溅射功率对薄膜表面形貌及粗糙度的影响第32-35页
  · 本章小结第35-36页
4 加入种子层(Cu)制备的Ag膜第36-40页
  · 引言第36页
  · 真空蒸发制备Ag膜和Cu:Ag膜第36-37页
  · 薄膜表面形貌,第37-38页
  · 结果与讨论第38-39页
  · 本章小结第39-40页
5 总结与展望第40-42页
  · 本文工作总结第40页
  · 展望第40-42页
参考文献第42-47页
致谢第47-48页
在校期间的科研成果第48页

本篇论文共48页,点击这进入下载页面
 
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