SiC晶体电光特性及飞秒激光改性研究

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SiC晶体电光特性及飞秒激光改性研究

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SiC晶体电光特性及飞秒激光改性研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-14页
· 课题背景及研究的目的和意义	第9-10页
· 国内外研究现状	第10-13页
· 国外关于 SiC 的研究现状	第10-12页
· 国内关于 SiC 的研究现状	第12-13页
· 本文的主要研究内容	第13-14页
第2章 6H-SiC 电光特性研究	第14-26页
· 引言	第14页
· 6H-SiC 晶体的电光系数	第14-19页
· 6H-SiC 晶体的折射率椭球	第14-16页
· 6H-SiC 晶体电光系数分离测量理论	第16-19页
· 6H-SIC 晶体的电光系数测量	第19-25页
· 电光系数测量方法	第19-21页
· 6H-SiC 晶体电光系数实验测量	第21-25页
· 本章小结	第25-26页
第3章飞秒激光对 6H-SiC 表面改性研究	第26-37页
· 引言	第26页
· 飞秒激光表面改性实验	第26-29页
· 实验制备准备	第26-27页
· 飞秒激光对 6H-SiC 晶体表面改性	第27-29页
· 飞秒激光表面改性测量与结果分析	第29-36页
· 伏安特性测量	第29-30页
· 吸收谱测量分析飞秒激光表面改性结果	第30-31页
· 拉曼光谱测量分析飞秒激光改性结果	第31-33页
· XPS 测量分析飞秒激光改性结果	第33-36页
· 本章小结	第36-37页
第4章飞秒激光对 6H-SiC 晶体微加工研究	第37-49页
· 引言	第37页
· 飞秒激光加工 SiC 晶体光栅	第37-43页
· SiC 晶体光栅制备	第37-40页
· SiC 晶体光栅性能测试	第40-42页
· SiC 晶体光栅高温稳定性测试	第42-43页
· 飞秒激光在 6H-SiC 晶体中加工悬臂梁	第43-47页
· SiC 悬臂梁制造工艺	第43-45页
· 飞秒激光加工 SiC 悬臂梁	第45-47页
· 本章小结	第47-49页
第5章 6H-SiC 晶体光栅高温传感研究	第49-57页
· 引言	第49页
· 碳化硅光栅高温传感理论	第49-51页
· 碳化硅光栅高温传感实验	第51-52页
· 碳化硅光栅高温传感实验结果分析	第52-56页
· 本章小结	第56-57页
结论	第57-58页
参考文献	第58-62页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果	第62-64页
致谢	第64 页

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