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Co-N薄膜的制备与磁性研究
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Co-N薄膜的制备与磁性研究
论文目录
提要
第1-7 页
第1章 绪论
第7-28 页
· 磁性材料简介
第7-11 页
· 磁性薄膜材料及其制备方法
第11-14 页
· 典型金属氮化物磁性薄膜的结构及性能简介
第14-24 页
· Co-N 薄膜材料的研究现状
第24-26 页
· 本论文的研究目的及内容
第26-28 页
第2章 薄膜的制备方法与表征手段
第28-43 页
· 溅射镀膜的工作原理
第28-32 页
· 溅射镀膜的种类
第32-38 页
· 对靶磁控溅射实验装置
第38-40 页
· 薄膜的表征手段
第40-43 页
第3章 氮气分压对Co-N 薄膜结构、表面形貌和磁性的影响..
第43-52 页
· 氮气分压对 Co-N 薄膜结构的影响
第43-46 页
· 氮气分压对 Co-N 薄膜表面形貌的影响
第46-48 页
· 氮气分压对 Co-N 薄膜磁性的影响
第48-50 页
· 本章小结
第50-52 页
第4章 溅射功率对 Co-N 薄膜结构、表面形貌和磁性的影响..
第52-58 页
· 溅射功率对 Co-N 薄膜结构的影响
第52-54 页
· 溅射功率对 Co-N 薄膜表面形貌的影响
第54-55 页
· 溅射功率对 Co-N 薄膜磁性的影响
第55-57 页
· 本章小结
第57-58 页
第5章 结论
第58-60 页
参考文献
第60-67 页
摘要
第67-70 页
Abstract
第70-73 页
致谢
第73 页
本篇论文共
73
页,
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