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纳米砷化镓(GaAs)薄膜的电化学制备与研究
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纳米砷化镓(GaAs)薄膜的电化学制备与研究
论文目录
摘要
第1-5页
ABSTRACT
第5-11页
第一章 绪论
第11-27页
· 引言
第11页
· GaAs材料的基本性质
第11-14页
· GaAs材料的物理特性
第11-12页
· GaAs材料的电学特性
第12-13页
· GaAs材料的化学特性
第13页
· GaAs材料的光学特性
第13-14页
· GaAs材料的制备方法
第14-23页
· GaAs材料的应用
第23-26页
· GaAs在微电子领域的应用
第23-24页
· GaAs在光电子领域的应用
第24-26页
· 本课题的研究内容及意义
第26-27页
第二章 实验试剂、制备仪器和表征方法
第27-31页
· 实验试剂
第27页
· 实验设备
第27-28页
· 样品分析表征方法
第28-31页
· 电化学分析
第28-29页
· HRXRD分析
第29-30页
· FESEM观察及EDS测定
第30页
· PL分析
第30页
· AFM观察
第30-31页
第三章 恒电压共沉积法制备GaAs纳米结构薄膜
第31-49页
· 引言
第31页
· 实验原理
第31-33页
· 恒电压电共沉积GaAs实验
第33-39页
· 沉积参数的选择
第33-37页
· 实验装置
第37-38页
· 前驱液的配制
第38-39页
· 电极的预处理
第39页
· 影响GaAs薄膜共沉积的因素分析
第39-46页
· pH值对GaAs薄膜的影响
第39-41页
· 电压值对GaAs薄膜的影响
第41-44页
· 退火条件对GaAs薄膜的影响
第44-46页
· 电共沉积GaAs薄膜的光学特性
第46-47页
· 小结
第47-49页
第四章 脉冲电流共沉积法制备GaAs纳米结构薄膜
第49-63页
· 引言
第49页
· 实验原理
第49-50页
· 脉冲电流沉积GaAs实验
第50-54页
· 脉冲沉积参数的选择
第50-53页
· 实验装置
第53-54页
· 影响GaAs薄膜脉冲共沉积的因素分析
第54-61页
· 络合物对GaAs薄膜的影响
第54-56页
· 占空比对GaAs薄膜的影响
第56-57页
· 峰值电流密度对GaAs薄膜的影响
第57-60页
· 退火条件对GaAs薄膜的影响
第60-61页
· 脉冲电沉积GaAs薄膜的光学性能
第61-62页
· 小结
第62-63页
第五章 结论与展望
第63-65页
· 结论
第63-64页
· 展望
第64-65页
参考文献
第65-71页
致谢
第71-73页
攻读硕士学位期间发表的论文
第73页
本篇论文共
73
页,
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。
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