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纳米砷化镓(GaAs)薄膜的电化学制备与研究

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纳米砷化镓(GaAs)薄膜的电化学制备与研究
论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-11页
第一章 绪论第11-27页
  · 引言第11页
  · GaAs材料的基本性质第11-14页
    · GaAs材料的物理特性第11-12页
    · GaAs材料的电学特性第12-13页
    · GaAs材料的化学特性第13页
    · GaAs材料的光学特性第13-14页
  · GaAs材料的制备方法第14-23页
  · GaAs材料的应用第23-26页
    · GaAs在微电子领域的应用第23-24页
    · GaAs在光电子领域的应用第24-26页
  · 本课题的研究内容及意义第26-27页
第二章 实验试剂、制备仪器和表征方法第27-31页
  · 实验试剂第27页
  · 实验设备第27-28页
  · 样品分析表征方法第28-31页
    · 电化学分析第28-29页
    · HRXRD分析第29-30页
    · FESEM观察及EDS测定第30页
    · PL分析第30页
    · AFM观察第30-31页
第三章 恒电压共沉积法制备GaAs纳米结构薄膜第31-49页
  · 引言第31页
  · 实验原理第31-33页
  · 恒电压电共沉积GaAs实验第33-39页
    · 沉积参数的选择第33-37页
    · 实验装置第37-38页
    · 前驱液的配制第38-39页
    · 电极的预处理第39页
  · 影响GaAs薄膜共沉积的因素分析第39-46页
    · pH值对GaAs薄膜的影响第39-41页
    · 电压值对GaAs薄膜的影响第41-44页
    · 退火条件对GaAs薄膜的影响第44-46页
  · 电共沉积GaAs薄膜的光学特性第46-47页
  · 小结第47-49页
第四章 脉冲电流共沉积法制备GaAs纳米结构薄膜第49-63页
  · 引言第49页
  · 实验原理第49-50页
  · 脉冲电流沉积GaAs实验第50-54页
    · 脉冲沉积参数的选择第50-53页
    · 实验装置第53-54页
  · 影响GaAs薄膜脉冲共沉积的因素分析第54-61页
    · 络合物对GaAs薄膜的影响第54-56页
    · 占空比对GaAs薄膜的影响第56-57页
    · 峰值电流密度对GaAs薄膜的影响第57-60页
    · 退火条件对GaAs薄膜的影响第60-61页
  · 脉冲电沉积GaAs薄膜的光学性能第61-62页
  · 小结第62-63页
第五章 结论与展望第63-65页
  · 结论第63-64页
  · 展望第64-65页
参考文献第65-71页
致谢第71-73页
攻读硕士学位期间发表的论文第73页

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