电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究

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电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究

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电弧离子镀CrAlSiN涂层结构与性能研究

论文目录
西北师范大学研究生学位论文作者信息	第1-8页
摘要	第8-9页
ABSTRACT	第9-11页
1 绪论	第11-19页
1.1 引言	第11-12页
1.2 硬质涂层沉积技术	第12-15页
1.3 研究现状	第15-17页
1.3.1 CrN涂层	第15-16页
1.3.2 CrSiN和CrAlN涂层	第16页
1.3.3 CrAlSiN涂层	第16-17页
1.4 本文的主要研究内容	第17-19页
2 涂层的制备与性能检测设备介绍	第19-26页
2.1 涂层的制备	第19-20页
2.2 涂层表征	第20-25页
2.2.1 扫描电子显微镜（SEM）	第20-21页
2.2.2 透射电子显微镜(TEM)	第21-22页
2.2.3 多晶X射线衍射仪 (XRD)	第22-23页
2.2.4 多功能X射线光电子能谱（XPS）	第23-24页
2.2.5 纳米压痕仪和划痕仪	第24页
2.2.6 摩擦磨损试验机	第24-25页
2.2.7 电化学工作站	第25页
2.3 本章小结	第25-26页
3 不同Si含量的CrAlSiN涂层微观结构与性能研究	第26-38页
3.1 涂层的形貌	第26-28页
3.2 涂层的微观结构	第28-32页
3.3 涂层的力学性能	第32-33页
3.4 涂层的摩擦磨损性能	第33-37页
3.5 小结	第37-38页
4 不同偏压涂层的摩擦磨损及电化学研究	第38-47页
4.1 不同偏压对涂层的形貌影响与物相研究	第38-41页
4.2 涂层的硬度	第41-42页
4.3 涂层的摩擦磨损性能	第42-43页
4.3.1 涂层的摩擦系数与磨损率	第42-43页
4.3.2 涂层的摩擦形貌	第43页
4.4. 涂层的腐蚀性能分析	第43-46页
4.5 本章小结	第46-47页
5 不同过渡层CrAlSiN涂层的性能研究	第47-61页
5.1 涂层形貌	第47-48页
5.2 涂层结构	第48-51页
5.3 涂层力学性能	第51页
5.4 涂层腐蚀性能	第51-55页
5.5 不同环境下的摩擦磨损性能	第55-60页
5.6 本章小结	第60-61页
6 结论及展望	第61-62页
6.1 结论	第61页
6.2 展望	第61-62页
参考文献	第62-68页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第68-69页
致谢	第69页

本篇论文共69页，点击这进入下载页面。

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