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石英各向异性湿法刻蚀特性及模拟研究
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石英各向异性湿法刻蚀特性及模拟研究
论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-17页
　　1.1 研究背景与意义第10-12页
　　1.2 国内外研究现状第12-14页
　　　　1.2.1 石英各向异性湿法刻蚀研究现状第12页
　　　　1.2.2 晶体各向异性刻蚀模拟方法第12-13页
　　　　1.2.3 Level Set方法简介第13-14页
　　1.3 论文研究内容第14-15页
　　1.4 论文组织结构第15-17页
第二章 石英湿法刻蚀基础及形貌模拟第17-28页
　　2.1 石英晶体第17-19页
　　　　2.1.1 石英晶体结构第17-19页
　　　　2.1.2 石英晶面表示第19页
　　2.2 石英湿法刻蚀及速度测量第19-23页
　　　　2.2.1 石英湿法刻蚀第19-21页
　　　　2.2.2 刻蚀速度测量第21-23页
　　2.3 各向异性湿法刻蚀形貌预测第23-27页
　　　　2.3.1 刻蚀形貌模拟方法第23页
　　　　2.3.2 几何方法形貌模拟的基本规则第23-27页
　　2.4 本章小结第27-28页
第三章 Level Set方法在晶体湿法刻蚀模拟中的应用第28-47页
　　3.1 Level Set方程第28-29页
　　3.2 数值求解第29-33页
　　　　3.2.1 差分格式建立第29-30页
　　　　3.2.2 空间离散格式构建第30-32页
　　　　3.2.3 重新初始化第32-33页
　　3.3 空间坐标系转换第33-35页
　　3.4 Level Set方法与刻蚀形貌几何演化规则第35-38页
　　3.5 基于Level Set方法硅湿法刻蚀三维形貌模拟第38-46页
　　　　3.5.1 球形硅湿法刻蚀模拟研究第38-41页
　　　　3.5.2 有掩膜(001)硅片湿法刻蚀模拟第41-46页
　　3.6 本章小结第46-47页
第四章 石英湿法刻蚀实验研究第47-58页
　　4.1 石英球湿法刻蚀实验研究第47-49页
　　4.2 Z切石英掩膜版设计第49-52页
　　　　4.2.1 基于Level Set方法Z切石英刻蚀模拟第49-51页
　　　　4.2.2 掩膜版设计第51-52页
　　4.3 Z切石英湿法刻蚀实验第52-56页
　　4.4 刻蚀结果观察与讨论第56页
　　4.5 本章小结第56-58页
第五章 实验结果分析与讨论第58-76页
　　5.1 凹槽侧壁特征晶面研究第58-67页
　　　　5.1.1 侧壁特征晶面数据测量第58-61页
　　　　5.1.2 侧壁演化规律第61-62页
　　　　5.1.3 深宽比第62-64页
　　　　5.1.4 掩膜边线选择第64-66页
　　　　5.1.5 侧壁刻蚀形貌预测第66-67页
　　5.2 凹槽形貌特征研究第67-70页
　　　　5.2.1 凹槽特征晶面演化规律第67-69页
　　　　5.2.2 凹槽刻蚀形貌模拟第69-70页
　　5.3 凸台形貌特征研究第70-75页
　　5.4 本章小结第75-76页
第六章 总结与展望第76-78页
　　6.1 论文的主要工作第76页
　　6.2 展望第76-78页
致谢第78-79页
参考文献第79-82页
作者简介第82页

本篇论文共82页，点击这进入下载页面。
 
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