钛合金TC11抗氧化隔热涂层的制备与性能研究

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钛合金TC11抗氧化隔热涂层的制备与性能研究

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钛合金TC11抗氧化隔热涂层的制备与性能研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-12页
第一章绪论	第12-22页
1.1 钛合金的高温氧化	第12-14页
1.2 钛合金抗氧化性能的改善及主要研究进展	第14-16页
1.3 钛合金隔热及主要研究进展	第16-18页
1.4 多层膜的设计与制备的研究进展	第18-20页
1.4.1 多层红外反射膜的设计	第18页
1.4.2 单层膜材料选择	第18-19页
1.4.3 制备方法	第19-20页
1.5 研究意义和内容	第20-22页
1.5.1 研究意义	第20页
1.5.2 研究内容	第20-22页
第二章实验与研究方法	第22-31页
2.1 实验研究路线	第22页
2.2 实验用原材料	第22-24页
2.2.1 基体材料	第22-23页
2.2.2 实验中所用耗材及试剂	第23-24页
2.3 仪器设备	第24页
2.4 基底材料的处理	第24-25页
2.5 薄膜制备工艺	第25-27页
2.5.1 磁控溅射基本原理	第25页
2.5.2 磁控溅射设备	第25-26页
2.5.3 薄膜制备	第26-27页
2.6 分析与测试方法	第27-31页
2.6.1 台阶仪	第27页
2.6.2 涂层附着力自动划痕仪	第27-28页
2.6.3 紫外—可见—近红外分光光度计测试	第28-29页
2.6.4 薄膜测厚仪	第29页
2.6.5 X射线衍射分析	第29页
2.6.6 场发射扫描电子显微镜及能谱分析	第29-30页
2.6.7 电子探针X射线显微分析仪	第30页
2.6.8 直读光谱仪	第30页
2.6.9 隔热测试分析	第30页
2.6.10 抗氧化性能测试分析	第30-31页
第三章各单层膜的制备及性能研究	第31-54页
3.1 氧化物薄膜的制备工艺及性能研究	第31-47页
3.1.1 气体流量比对氧化物薄膜性能的影响	第33-39页
3.1.2 溅射功率对氧化物薄膜性能的影响	第39-42页
3.1.3 靶基距对氧化物薄膜性能的影响	第42-44页
3.1.4 沉积温度对氧化物薄膜性能的影响	第44-47页
3.2 类金属层薄膜的制备工艺及性能研究	第47-52页
3.2.1 TiAlN膜的制备及性能研究	第47-50页
3.2.2 TiAlCr膜的制备及性能研究	第50-52页
3.3 本章小结	第52-54页
第四章抗氧化隔热多层红外反射膜的制备与基本性能研究	第54-65页
4.1 多层膜的设计与制备	第54-56页
4.2 多层膜的形貌结构分析	第56-61页
4.3 多层膜的红外光学性能研究	第61-64页
4.4 结论	第64-65页
第五章多层膜的隔热性能和抗氧化性能研究	第65-85页
5.1 多层膜试样隔热性能分析	第65-72页
5.1.1 实验用隔热测试装置	第65-66页
5.1.2 实验用隔热测试装置可靠性验证分析	第66页
5.1.3 隔热性能测试分析	第66-69页
5.1.4 隔热性能的重复性测试	第69-72页
5.2 多层膜试样的抗氧化性能研究	第72-84页
5.2.1 含TiAlN膜的多层膜试样氧化行为研究	第72-78页
5.2.2 含TiAlCr膜的多层膜试样氧化行为研究	第78-84页
5.3 本章小结	第84-85页
第六章结论	第85-87页
参考文献	第87-92页
攻读硕士期间发表的论文与成果	第92-93页
致谢	第93页

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