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4H-SiC欧姆接触的高温电学特性研究
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4H-SiC欧姆接触的高温电学特性研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-14页
符号对照表第14-15页
缩略语对照表第15-18页
第一章 绪论第18-34页
　　1.1 SiC材料和器件高温应用的优势第19-21页
　　　　1.1.1 SiC材料特性及其优势第19-20页
　　　　1.1.2 SiC器件及其应用第20-21页
　　1.2 SiC欧姆接触的高温特性及热可靠性的研究第21-33页
　　　　1.2.1 高温欧姆接触的研究意义第21-22页
　　　　1.2.2 国内外研究现状第22-32页
　　　　1.2.3 存在的问题第32-33页
　　1.3 本论文的主要工作第33-34页
第二章 SiC欧姆接触理论第34-46页
　　2.1 金属-半导体接触理论第34-38页
　　　　2.1.1 欧姆的形成机制第34-36页
　　　　2.1.2 金-半接触的载流子输运机制第36-37页
　　　　2.1.3 比接触电阻第37-38页
　　2.2 比接触电阻的测试第38-44页
　　　　2.2.1 常用的比接触电阻测试方法第38-43页
　　　　2.2.2 本文采用的比接触电阻测试方法第43-44页
　　2.3 本章小结第44-46页
第三章 欧姆接触制备与表征第46-58页
　　3.1 欧姆接触样品制备第46-54页
　　　　3.1.1 高温离子注入第46-49页
　　　　3.1.2 高温激活退火第49-50页
　　　　3.1.3 金属淀积及图形化第50-52页
　　　　3.1.4 欧姆接触退火第52-54页
　　3.2 欧姆接触样品表征第54-56页
　　　　3.2.1 电学特性及热稳定性第54-55页
　　　　3.2.2 表面形貌第55页
　　　　3.2.3 元素分析第55-56页
　　3.3 本章小结第56-58页
第四章 SiC欧姆接触的高温电学特性及热可靠性研究第58-86页
　　4.1 欧姆接触金属的选择第58页
　　4.2 Pt/Ti/SiC欧姆接触研究第58-68页
　　　　4.2.1 实验结果及其分析第58-62页
　　　　4.2.2 高温电学特性及热可靠性研究第62-68页
　　4.3 Pt/TaSi_2/Ni/Ti/Ni/SiC欧姆接触研究第68-77页
　　　　4.3.1 实验结果及其分析第68-73页
　　　　4.3.2 高温电学特性及热可靠性研究第73-77页
　　4.4 Pt/TaSi_2/W/Ni/SiC欧姆接触研究第77-84页
　　　　4.4.1 实验结果及其分析第77-81页
　　　　4.4.2 高温电学特性及热可靠性研究第81-84页
　　4.5 本章小结第84-86页
第五章 结论和展望第86-90页
参考文献第90-98页
致谢第98-100页
作者简介第100-101页

本篇论文共101页，点击这进入下载页面。
 
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