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TiO2和ZnO夹层Ag透明多层电极的制备及性能研究

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TiO2和ZnO夹层Ag透明多层电极的制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 绪论第8-16页
  · 透明导电氧化物薄膜的研究意义第8-9页
  · 透明导电氧化物薄膜的研究发展第9-12页
  · O/M/O透明多层薄膜第12-14页
    · O/M/O透明多层薄膜的主要材料第13-14页
    · O/M/O透明多层薄膜的研究现状第14页
  · 本论文的研究和创新第14-16页
第二章 氧化物多层电极的制备和表征技术第16-20页
  · 氧化物多层电极的制备方法第16-18页
    · 磁控溅射制备薄膜的优点第16-17页
    · 磁控溅射制备薄膜的原理第17-18页
  · 氧化物多层电极的表征第18-20页
    · 薄膜表面形貌第18页
    · 薄膜透光率第18-19页
    · 薄膜晶体结构第19-20页
第三章 TiO_2/Ag/TiO_2透明电极的制备及其性能研究第20-27页
  · 引言第20页
  · 实验第20-21页
    · TiO_2/Ag/TiO_2电极制备第20-21页
    · TiO_2/Ag/TiO_2性能表征第21页
  · 讨论与分析第21-26页
    · TiO_2膜厚对性能的影响第22-23页
    · Ag薄膜厚度对电极性能的影响第23-25页
    · TiO_2/Ag/TiO_2导电性分析第25-26页
  · 本章小结第26-27页
第四章 TiO_2/Ag/ZnO透明电极的制备及其性能研究第27-40页
  · 引言第27页
  · 实验第27-29页
    · TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2电极的制备第27-28页
    · TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2电极性能表征第28-29页
  · 结果与讨论第29-38页
    · ZnO靶溅射功率对薄膜性能的影响第29-30页
    · TiO_2/Ag/ZnO和ZnO/Ag/TiO_2光电性能的比较第30-31页
    · TiO_2和ZnO膜厚度对电极性能的影响第31-32页
    · Ag靶溅射功率对电极性能的影响第32-36页
    · Ag薄膜厚度对电极性能的影响第36-38页
    · TiO_2/Ag/ZnO多层电极柔性测试第38页
  · 本章小结第38-40页
第五章 O_2对ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO性能改善的研究第40-52页
  · 引言第40页
  · 实验第40-41页
    · ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO电极的制备第40-41页
    · ZnO/Ag/ZnO和TiO_2/Ag/ZnO电极性能表征第41页
  · 结果与讨论第41-51页
    · O_2对生长在ZnO上Ag膜形貌的影响第41-43页
    · O_2浓度对ZnO/Ag/ZnO电极透光率的影响第43-46页
    · O_2浓度对ZnO/Ag/ZnO电极导电性的影响第46-48页
    · O_2浓度对生长在TiO_2上Ag膜形貌的影响第48-49页
    · O_2浓度对TiO_2/Ag/ZnO电极性能的影响第49-51页
  · 本章小结第51-52页
第六章 总结与展望第52-54页
参考文献第54-58页
附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文第58-59页
附录2 攻读硕士学位期间申请的专利第59-60页
附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目第60-61页
致谢第61页

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