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光子集成中的MMI型环形波导谐振腔的特性分析及结构设计
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光子集成中的MMI型环形波导谐振腔的特性分析及结构设计
论文目录
摘要
第1-6 页
ABSTRACT
第6-10 页
第一章 绪论
第10-22 页
· InP基光子集成技术
第10-14 页
· InP基光子集成技术简介
第10-11 页
· InP基光子集成技术的发展现状
第11-14 页
· 环形波导谐振腔
第14-17 页
· 环形波导谐振腔简介
第14-15 页
· 环形波导谐振腔在光子集成中的应用
第15-17 页
· 论文结构安排
第17-18 页
参考文献
第18-22 页
第二章 环形波导谐振腔的原理及其性能指标
第22-32 页
· 环形波导谐振腔的原理
第22-25 页
· 环形波导谐振腔工作原理
第22 页
· 环形波导谐振腔分类
第22-23 页
· 环形波导谐振腔性能指标
第23-24 页
· 环形波导谐振腔波导材料选择
第24-25 页
· 环形波导偕振腔的分析方法
第25 页
· MMI的工作原理及应用
第25-29 页
· MMI的工作原理
第26-27 页
· MMI的应用
第27-29 页
参考文献
第29-32 页
第三章 MMI型环形波导谐振腔的特性分析
第32-53 页
· 对传统的传输矩阵法进行修正
第32 页
· 单环波导谐振腔(一环一MMI)的特性分析
第32-40 页
· 传输函数的推导
第32-33 页
· 谐振点处特性分析
第33-34 页
· 环形谐振腔各参数对传输函数的影响
第34-40 页
· 结论
第40 页
· 串联双环波导谐振腔(两个环形波导三个MMI)的特性分析
第40-51 页
· 下路通道传输函数的推导
第40-43 页
· 传输特性影响参数分析
第43-50 页
· 结论
第50-51 页
参考文献
第51-53 页
第四章 MMI型InP/InGaAsP环形波导谐振腔的波导设计
第53-65 页
· 环形谐振腔的外延层设计与波导结构选择
第53-54 页
· 环形谐振腔端口的设计
第54-56 页
· 单模传输
第55 页
· 偏振不敏感
第55-56 页
· 与光纤低损耗耦合
第56 页
· MMI耦合器结构的设计
第56-63 页
· 角型MMI耦合器
第57 页
· 中间带有间隙的多模波导结构
第57-59 页
· MMI—MZI结构
第59-60 页
· 改变MMI波导的长度
第60-61 页
· 在MMI两波导臂之间的部分刻槽
第61-63 页
· 结论
第63 页
参考文献
第63-65 页
第五章 MMI型InP/InGaAsP环形波导谐振腔的制备
第65-75 页
· 刻蚀工艺简介
第65 页
· 湿法刻蚀环形波导谐振腔
第65-73 页
· InP/InGaAsP系材料的腐蚀液选择、溶液配比以及腐蚀速度测试
第65-69 页
· 环形腔的初步腐蚀
第69-73 页
· 结论
第73 页
参考文献
第73-75 页
致谢
第75-76页
本篇论文共
76
页,
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