纳米三坐标测量机误差分离方案的研究

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纳米三坐标测量机误差分离方案的研究

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纳米三坐标测量机误差分离方案的研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-13页
第一章绪论	第13-19页
· 三坐标测量机概况及发展现状	第13-14页
· 纳米三坐标测量机研究现状	第14-16页
· 误差分离技术研究概况	第16页
· 课题来源及意义	第16-17页
· 本论文主要内容	第17-19页
第二章纳米三坐标测量机误差源分析和精度设计	第19-28页
· 测量机误差源分析	第19-23页
· 测量机系统概述	第19-20页
· 误差源分析	第20-23页
· 测量机精度设计	第23-28页
· 等作用原则的精度初步设计	第23-24页
· X和 Y轴方向精度设计	第24-25页
· Z轴方向精度设计	第25-26页
· 总体精度分析和误差分配	第26-28页
第三章纳米三坐标测量机误差分离方案研究	第28-37页
· 误差分离实验装置	第28-30页
· 德国SIOS公司三光束微型激光干涉仪 SP 2000	第28页
· 激光头支架装置和平面反射镜设计	第28-30页
· 误差分离方案	第30-37页
· 示值误差分离	第31-33页
· 阿贝误差分离	第33-34页
· 线值误差分离	第34-36页
· 垂直度误差分离	第36-37页
第四章基于 LABVIEW 8的测量机误差修正程序设计	第37-50页
· 测量机误差修正方法概述	第37-38页
· 误差修正程序设计	第38-50页
· 三次样条函数插值算法	第38-40页
· 基于三次样条插值的拟合程序	第40-48页
· 曲线一维插值程序	第42-44页
· 样条曲线比较程序和最小二乘法拟合程序	第44-46页
· 曲面二维插值程序	第46-48页
· 误差修正程序	第48-50页
第五章纳米三坐标测量机误差分离实验	第50-62页
· 三光束微型激光干涉仪的操作规程	第50-53页
· XY可调节平面反射镜的标定	第53-54页
· 二维定位平台和 Z轴驱动系统的装配	第54-59页
· 误差分离实验	第59-62页
第六章总结与展望	第62-64页
· 研究总结	第62页
· 研究工作展望	第62-64页
参考文献	第64-67页
攻读硕士学位期间发表的论文	第67页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

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