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射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析

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射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析
论文目录
 
1 绪论第10-20 页
  · Ⅲ族氮化物的研究概况第10-11 页
  · AlN的研究进展及现状第11-14 页
    · AlN物理性能的研究现状第11-13 页
    · AlN薄膜的生长工艺第13-14 页
    · AlN的应用前景和发展方向第14 页
  · 本论文工作的主要目的和研究重点第14-17 页
  参考文献第17-20 页
2 薄膜制备及其分析方法第20-31 页
  · 薄膜制备方法第20-22 页
    · 射频磁控溅射技术基本原理及特点第20-21 页
    · 实验设备第21-22 页
  · 薄膜质量的研究方法第22-30 页
    · 卢瑟福背散射分析(RBS)第22-24 页
    · 原子力显微镜(AFM)第24-25 页
    · 扫描电镜分析(SEM)第25 页
    · 透射电镜分析(TEM)第25-26 页
    · 反射高能电子衍射(RHEED)第26-27 页
    · X射线衍射(XRD)第27 页
    · 傅立叶红外分析(FTIR)第27-28 页
    · 椭圆偏振光(ellipsometry)第28-30 页
  参考文献第30-31 页
3 不同沉积温度下的纳米AlN薄膜的表面形貌和结晶特性分析第31-42 页
  · AlN薄膜的制备与分析方法第31-32 页
    · 衬底选择及处理方法第31 页
    · AlN薄膜的制备第31-32 页
    · AlN薄膜的表征第32 页
  · AlN薄膜的表征结果与分析第32-39 页
    · 薄膜表面形貌表征第32-36 页
    · 薄膜结晶特性表征第36-39 页
  · 本章讨论第39-40 页
  · 本章小结第40-41 页
  参考文献第41-42 页
4 工作气压对AlN薄膜表面形貌和结晶取向的作用第42-59 页
  · AlN薄膜的制备与分析方法第42-43 页
    · 衬底选择及处理方法第42 页
    · AlN薄膜的制备第42-43 页
    · AlN薄膜的表征第43 页
  · AlN薄膜的表征结果与分析第43-56 页
    · 薄膜表面形貌表征第43-50 页
    · 薄膜结晶特性表征第50-52 页
    · 薄膜生长机制的探讨第52-56 页
  · 本章讨论第56 页
  · 本章小结第56-58 页
  参考文献第58-59 页
5 工作气压对AlN薄膜结构和光学性能的影响第59-77 页
  · AlN薄膜的制备与分析方法第59-60 页
    · 衬底选择及处理方法第59 页
    · AlN薄膜的制备第59-60 页
    · AlN薄膜的表征第60 页
  · AlN薄膜的光学常数及薄膜厚度分析第60-71 页
    · 用透射光谱测定光学常数及薄膜厚度的理论基础第60-63 页
    · 透射谱的分析方法和结果讨论第63-71 页
  · AlN薄膜的结构分析第71-75 页
  · 本章讨论第75 页
  · 本章小结第75-76 页
  参考文献第76-77 页
6 放电条件对AlN薄膜成膜空间中等离子体成分的影响第77-92 页
  · RBS结果分析第77-80 页
  · 光谱分析原理与实验方法第80-86 页
    · 光谱分析原理第80 页
    · 光谱采集模型及成膜空间的放电条件第80-81 页
    · Al、N、O、Ar四种元素的谱线标定第81-86 页
  · Al、N、O、Ar四种元素发光光谱的数据记录和强度分析第86-90 页
    · 工作气压对元素谱线强度的影响第87-88 页
    · 氮气百分含量对元素谱线强度的影响第88-90 页
  · 本章讨论第90 页
  · 本章小结第90-91 页
  参考文献第91-92 页
7 结论与展望第92-94 页
致谢第94-96 页
已发表的论文第96-98 页

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