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射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析
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射频反应磁控溅射制备AIN薄膜及其物理性能分析
论文目录
1 绪论
第10-20 页
· Ⅲ族氮化物的研究概况
第10-11 页
· AlN的研究进展及现状
第11-14 页
· AlN物理性能的研究现状
第11-13 页
· AlN薄膜的生长工艺
第13-14 页
· AlN的应用前景和发展方向
第14 页
· 本论文工作的主要目的和研究重点
第14-17 页
参考文献
第17-20 页
2 薄膜制备及其分析方法
第20-31 页
· 薄膜制备方法
第20-22 页
· 射频磁控溅射技术基本原理及特点
第20-21 页
· 实验设备
第21-22 页
· 薄膜质量的研究方法
第22-30 页
· 卢瑟福背散射分析(RBS)
第22-24 页
· 原子力显微镜(AFM)
第24-25 页
· 扫描电镜分析(SEM)
第25 页
· 透射电镜分析(TEM)
第25-26 页
· 反射高能电子衍射(RHEED)
第26-27 页
· X射线衍射(XRD)
第27 页
· 傅立叶红外分析(FTIR)
第27-28 页
· 椭圆偏振光(ellipsometry)
第28-30 页
参考文献
第30-31 页
3 不同沉积温度下的纳米AlN薄膜的表面形貌和结晶特性分析
第31-42 页
· AlN薄膜的制备与分析方法
第31-32 页
· 衬底选择及处理方法
第31 页
· AlN薄膜的制备
第31-32 页
· AlN薄膜的表征
第32 页
· AlN薄膜的表征结果与分析
第32-39 页
· 薄膜表面形貌表征
第32-36 页
· 薄膜结晶特性表征
第36-39 页
· 本章讨论
第39-40 页
· 本章小结
第40-41 页
参考文献
第41-42 页
4 工作气压对AlN薄膜表面形貌和结晶取向的作用
第42-59 页
· AlN薄膜的制备与分析方法
第42-43 页
· 衬底选择及处理方法
第42 页
· AlN薄膜的制备
第42-43 页
· AlN薄膜的表征
第43 页
· AlN薄膜的表征结果与分析
第43-56 页
· 薄膜表面形貌表征
第43-50 页
· 薄膜结晶特性表征
第50-52 页
· 薄膜生长机制的探讨
第52-56 页
· 本章讨论
第56 页
· 本章小结
第56-58 页
参考文献
第58-59 页
5 工作气压对AlN薄膜结构和光学性能的影响
第59-77 页
· AlN薄膜的制备与分析方法
第59-60 页
· 衬底选择及处理方法
第59 页
· AlN薄膜的制备
第59-60 页
· AlN薄膜的表征
第60 页
· AlN薄膜的光学常数及薄膜厚度分析
第60-71 页
· 用透射光谱测定光学常数及薄膜厚度的理论基础
第60-63 页
· 透射谱的分析方法和结果讨论
第63-71 页
· AlN薄膜的结构分析
第71-75 页
· 本章讨论
第75 页
· 本章小结
第75-76 页
参考文献
第76-77 页
6 放电条件对AlN薄膜成膜空间中等离子体成分的影响
第77-92 页
· RBS结果分析
第77-80 页
· 光谱分析原理与实验方法
第80-86 页
· 光谱分析原理
第80 页
· 光谱采集模型及成膜空间的放电条件
第80-81 页
· Al、N、O、Ar四种元素的谱线标定
第81-86 页
· Al、N、O、Ar四种元素发光光谱的数据记录和强度分析
第86-90 页
· 工作气压对元素谱线强度的影响
第87-88 页
· 氮气百分含量对元素谱线强度的影响
第88-90 页
· 本章讨论
第90 页
· 本章小结
第90-91 页
参考文献
第91-92 页
7 结论与展望
第92-94 页
致谢
第94-96 页
已发表的论文
第96-98 页
本篇论文共
98
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